一种太阳能电池晶圆片表面金属离子测试方法技术

本发明专利技术涉及一种太阳能电池晶圆片表面金属离子含量的测试方法，利用由1%的氢氟酸（HF）、4％的双氧水（H2O2）和95%的水（H2O）组成的提取试剂进行太阳能电池晶圆片表面金属离子的提取，配合Agilent公司Agilent7700s系列电感耦合等离子体质谱仪对太阳能电池晶圆片表面超微量金属含量进行检测，利用硅片的解理特性将太阳能电池晶圆片制成矩形，并完全浸泡在提取液中，保证了硅片表面金属离子收集的充分性，相对传统的手动VPD即化学气相分解进行太阳能电池晶圆片表面金属离子的前处理方法，利用完全浸泡的方式能获得更加稳定的回收率，提高测试精度，本发明专利技术能实现太阳能电池晶圆片全元素、超微量的检测，检出限均低于1×109atoms/cm2。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳能电池晶圆片的检测
，特别涉及一种太阳能电池晶圆片表面金属离子含量的测试方法。
技术介绍
随着石油天然气等能源枯竭及环境破坏的日益加剧，光伏发电作为可再生能源，是近年来发展最快，最具活力的研究领域之一。截止到目前，晶体硅太阳电池由于其转换效率高，技术成熟，稳定性好，仍然占有相当比重的市场份额。而晶体硅太阳电池用晶圆作为半导体材料，其表面微量的金属杂质能够严重影响材料和器件的性能表面金属离子能扩散至材料内部，成为硅的深能级复合中心，在公式I中权利要求1.，其特征在于利用由1%的氢氟酸 (HF)、4%的双氧水(H2O2)和95%的水(H2O)组成的提取试剂进行太阳能电池晶圆片表面金属离子的提取，配合Agilent公司Agilent 7700s系列电感稱合等离子体质谱仪对太阳能电池晶圆片表面超微量金属Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Mo、Ba、Pb含量进行检测，所述方法包括如下步骤步骤I、制作测试表面金属离子含量的太阳能电池晶圆片样片，用O. 5%的稀硝酸溶液进行清洗四氟镊子，并用99. 999999%氮气吹干；然后用镊子的尾本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳能电池晶圆片表面金属离子测试方法，其特征在于：利用由1%?的氢氟酸（HF）、4％的双氧水（H2O2）和95%的水（H2O）组成的提取试剂进行太阳能电池晶圆片表面金属离子的提取，配合Agilent公司Agilent?7700s系列电感耦合等离子体质谱仪对太阳能电池晶圆片表面超微量金属Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Mo、Ba、Pb含量进行检测，所述方法包括如下步骤：????步骤1、制作测试表面金属离子含量的太阳能电池晶圆片样片，用0.5%的稀硝酸溶液进行清洗四氟镊子，并用99.999999%氮气吹干；然后用镊子的尾端按太阳能电池晶圆片晶体解理的方向轻...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吕莹，张晋英，刘琦，李诺，刘园，
申请(专利权)人：天津中环领先材料技术有限公司，
类型：发明
国别省市：