一种硅太阳电池表面陷光结构及制备方式制造技术

本发明专利技术名称为一种硅太阳电池表面陷光结构及制备方式，涉及一种新型多晶硅酸制绒工艺，利用添加含有一定比例的有机硅表面活性剂，柠檬酸可以使整个酸制绒过程更加可控，并形成具有特殊结构的绒面结构，该结构在普通的蠕虫状结构内部产生大量微小腐蚀坑，其中大腐蚀坑：长度2～10um，宽度1～5um，深度0.5～2um；小腐蚀坑：长度100～500nm，宽度100～500nm，深度0.2～0.5um。可以将制绒反射率降低2～3％。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶体硅太阳电池的生产，通过改变传统制绒工艺，在原有制绒绒面上产生微结构，有效降低晶体硅太阳电池的表面反射率，提高电池效率。
技术介绍
制绒工艺是整个晶体硅太阳电池(以下简称太阳电池)制备过程的第一步，其主要作用有两个1)腐蚀去除一定厚度的硅，其目的是去除硅片切割过程中的损伤层2)在太阳电池表面形成一定形貌的织构，其目的是陷光，提高太阳电池对光的吸收，进而提闻电池效率。不同类型的太阳电池其表面织构的制备方式有所差别，普通单晶硅太阳电池具有优良的晶体条件(其表面主要是由(100)晶面)，可以在1 2% (质量浓度)的碱溶液中通过各向异性腐蚀形成规则的金字塔形貌，这些金字塔结构可以有效地起到陷光的作用。对多晶硅太阳电池而言，由于其表面是由大量不同晶向的晶粒组成，不能像单晶硅那样通过碱来进行各向异性腐蚀。对多晶硅太阳电池表面织构的制备方法主要有酸腐蚀法和等离子体刻蚀法，或通过较复杂的工艺形成规则的表面织构如光刻法，激光刻蚀法等。其中酸腐蚀法由于其简单，方便，低成本等优点被工业界广泛接受。用于酸腐蚀法的制绒溶液可以是HF和一种氧化剂(如硝酸，双氧水，高锰酸钾，铬酸等)及水的任意本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅太阳电池制绒工艺所使用的新型制绒溶液，其包括：1)含有HNO3、HF、H2O混酸溶液：占总体积40?80％；2)添加剂：占总体积0.01?1％；3)余量水其中所述添加剂的成分为甘油、柠檬酸、冠醚型表面活性剂和水，甘油与水的体积比为1?10∶100，柠檬酸与水的重量比为1?3∶100，冠醚型表面活性剂与水的体积比为0.1～1∶100。

【技术特征摘要】
1.一种硅太阳电池制绒工艺所使用的新型制绒溶液，其包括 1)含有HNO3、HF、H2O混酸溶液占总体积40-80%； 2)添加剂占总体积0.01-1% ； 3)余量水 其中所述添加剂的成分为甘油、柠檬酸、冠醚型表面活性剂和水，甘油与水的体积比为1-10 100，柠檬酸与水的重量比为1-3 100，冠醚型表面活性剂与水的体积比为0. I I 100。2.如权利要求I所述的新型制绒溶液，其中所述HN03/HF/H20的体积比为I 3 3 8 3 5。3.一种用于晶体硅太阳电池制造过程中的制绒方法，包括 1)将HF溶液，HNO3溶液，H2O按体积比为I 3 3 8 3 5的比例相混合， 搅拌5 IOmin使溶液充分混合形成普通制绒溶液； 2)将添加剂加入到所述普通制绒溶液中，搅拌5 IOmin使溶液充分混合，添加水以形成如权利要求I所述的新型制绒溶液； 3)调整步骤2)所得的新型制绒溶液的温度至5 20度； 4)将固...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪琼，
申请(专利权)人：杭州道乐太阳能技术有限公司，
类型：发明
国别省市：