气体稳压系统技术方案

技术编号:8400816 阅读:268 留言:0更新日期:2013-03-08 18:16
本实用新型专利技术是提供一种气体压力波动较小的气体稳压系统。该气体稳压系统,在气体的输出管路上串联至少两个稳压阀。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及气体稳压系统
技术介绍
生产工艺中,经常用到氧气、氮气、氩气等惰性气体。有些场合,对气体的压力准确度要求比较高。现有的只在气体的输出管路上设置一个稳压阀的气体稳压系统往往难于满足要求。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种气体压力波动较小的气体稳压系统。 本气体稳压系统,在气体的输出管路上串联至少两个稳压阀。上述的气体稳压系统,在气体的输出管路上串联两个稳压阀。所述气体为氧气、氮气或惰性气体。本技术的有益效果由于设置多个稳压阀,前一个稳压阀的输出口接在后一个稳压阀的输入口上。也就是说,后一个稳压阀的输入气体的压力是前一个稳压阀的输出压力。这样,在前一个稳压阀稳压基础上,再次进行稳压,最终输出的气体压力波动很小。附图说明图I是气体稳压系统的示意图。具体实施方式参见图I所不的气体稳压系统,3个氮气(或者氧气、IS气)气源I并联接在第一个稳压阀3上,第一个稳压阀3输出口分接三个气体输出管路2,在各气体输出管路上均接有第二个稳压阀4。经第二个稳压阀4的输出口流出的气体压力准确度较好,压力波动小。权利要求1.气体稳压系统,其特征是在气体的输出管路上串联至少两个稳压阀。2.如权利要求I所述的气体稳压系统,其特征是在气体的输出管路上串联两个稳压阀。3.如权利要求2所述的气体稳压系统,其特征是所述气体为氧气、氮气或惰性气体。专利摘要本技术是提供一种气体压力波动较小的气体稳压系统。该气体稳压系统,在气体的输出管路上串联至少两个稳压阀。文档编号F17D1/20GK202769277SQ20122048315公开日2013年3月6日 申请日期2012年9月21日 优先权日2012年9月21日专利技术者杜杰, 王建华, 王鲁南, 项宏其, 窦立峰 申请人:南京汇金锦元光电材料有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
气体稳压系统,其特征是:在气体的输出管路上串联至少两个稳压阀。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:杜杰王建华王鲁南项宏其窦立峰
申请(专利权)人:南京汇金锦元光电材料有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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