【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种调焦机构，特别涉及一种气动伺服调焦机构。
技术介绍
激光加工设备利用高能激光束在材料或材料表面进行切割、焊接、雕刻、热处理等。激光器发出的激光束经光路传输后，到达聚焦镜，将光束聚焦，焦点处能量密度极大。不同的加工工艺，要求激光束的焦点相对于材料表面的位置不同，所以激光加工设备必须具备调整焦点的位置的功能。目前的激光加工设备中，调整焦点位置的方式主要有两种手动调焦(旋动位于激光加工头上前端的电容随动传感器相对于聚焦镜的距离)和伺服电机自动调焦(由伺服电 机驱动聚焦镜上下运动)。手动调整方式的缺点是调整效率低、操作不方便也不安全，伺服自动调整则结构复杂、成本高。
技术实现思路
为了克服上述缺陷，本技术提供了一种气动伺服调焦机构，该气动伺服调焦机构结构简单、调节方便，制造成本低。本技术为了解决其技术问题所采用的技术方案是一种气动伺服调焦机构，包括安装座、镜座、反射镜和激光聚焦装置，所述安装座上设有一进光通道和一出光通道，镜座嵌设于安装座上，反射镜固定于镜座上，反射镜内部形成一压力腔，该压力腔通过压力接口与外界气源连通，反射镜压力腔朝向安装座内部的一侧壁为受压力曲...
【技术保护点】
一种气动伺服调焦机构，其特征在于：包括安装座（4）、镜座（2）、反射镜（3）和激光聚焦装置，所述安装座（4）上设有一进光通道和一出光通道，镜座（2）嵌设于安装座（4）上，反射镜（3）固定于镜座（2）上，反射镜（3）内部形成一压力腔（301），该压力腔（301）通过压力接口（30）与外界气源连通，反射镜（3）压力腔（301）朝向安装座（4）内部的一侧壁为受压力曲率能够发生变化的镜片膜（305），该镜片膜（305）能够将进光通道内的光束反射后经出光通道射入激光聚焦装置的光束通道内。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：沈晖，龚张平，施志虎，
申请(专利权)人：苏州领创激光科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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