倾斜结构体、倾斜结构体的制造方法、及分光传感器技术

本发明专利技术涉及倾斜结构体、倾斜结构体的制造方法、及分光传感器。所述倾斜结构体的制造方法包括：工序（a），在基板的上方形成牺牲膜；工序（b），形成第一膜，所述第一膜包括与基板连接的第一部分、位于牺牲膜的上方的第二部分、位于第一部分及第二部分之间的第三部分，并且第三部分的一部分、或者在第二部分和第三部分的边界部分处，具有与第一部分相比膜厚较薄的区域；工序（c），去除牺牲膜；工序（d），在工序（c）之后，在膜厚较薄的区域处使第一膜弯曲，并使第一膜的第二部分相对于基板而倾斜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微小的倾斜结构体、倾斜结构体的制造方法、及使用了该倾斜结构体的分光传感器。
技术介绍
在医疗、农业、环境等领域中，为了实施对对象物的诊断和检查，而使用分光传感器。例如，在医疗领域中，使用了利用血红蛋白的光吸收来对血氧饱和度进行测定的脉搏氧饱和度仪。另外，在农业领域中，使用了利用糖分的光吸收来对果实的糖度进行测定的糖度 计。在下述的专利文献I中，公开了一种光谱成像传感器，其通过由对干涉滤光片和光电转换元件之间进行光学连接的光纤来对入射角度进行限制，从而对向光电转换元件的透过波长频带进行限制。但是，在现有的分光传感器中，难以实现小型化。例如，为了制造小型的分光传感器，需要求形成微小的倾斜结构体。但是，在现有的技术中，难以制造微小的结构体。专利文献I:日本特开平6-129908号公报
技术实现思路
本专利技术是鉴于以上这种技术课题而完成的。本专利技术的几个方式涉及如下内容，SP，提供微小的倾斜结构体、微小的倾斜结构体的制造方法、及使用了该倾斜结构体的分光传感器。在本专利技术的几个方式中，倾斜结构体的制造方法包括工序(a)，在基板的上方形成牺牲膜；工序(b)，形成第一膜，其中，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种倾斜结构体的制造方法，其包括：工序（a），在基板的上方形成牺牲膜；工序（b），形成第一膜，所述第一膜包括：与所述基板连接的第一部分、位于所述牺牲膜的上方的第二部分、和位于所述第一部分及所述第二部分之间的第三部分，并且，所述第三部分的一部分、或者在所述第二部分与所述第三部分的边界部分处，具有与所述第一部分相比膜厚较薄的区域；工序（c），去除所述牺牲膜；工序（d），在所述工序（c）之后，于所述膜厚较薄的区域处使所述第一膜弯曲，从而使所述第一膜的所述第二部分相对于所述基板而倾斜。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：吉澤隆彦，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：