光检测元件、光检测装置和自动照明装置制造方法及图纸

技术编号:8386194 阅读:191 留言:0更新日期:2013-03-07 05:48
本发明专利技术提供一种光检测元件和光检测装置,防止产生多路检测电流路径、并能够与光吸收层的表面状态无关地以高灵敏度稳定检测。光检测元件包括透光性基板(1)、光吸收层(2)、电极(3)、电极(4)、接合层(5)、绝缘膜(6)、和封装件(7)。在透光性基板(1)上形成有光吸收层(2),在光吸收层(2)埋入有电极(3)和电极(4)的一部分。光检测部以向下连接的方式通过利用接合层(5)接合到封装件(7)。光吸收层(2)选择性吸收特定波长的光,并将其转换到电信号。测量的光从透光性基板(1)的背面照射。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及抑制由光吸收层的表面状态产生的影响、并稳定地检测光的光检测元件、光检测装置和自动照明装置
技术介绍
对于光检测装置,例如有使用利用光接收部的光致电流量的变化来检测照射到光接收部的紫外线的、所谓的光敏型传感元件的装置。从成本低和掺杂控制的容易度来考虑,当 前该元件为对波长40(T750nm范围的可见光等也具有检测灵敏度的Si半导体等。该光敏型传感元件的光检测原理是通过对光接收部的半导体照射具有能带间隙以上能量的光,由于光电转换作用,在半导体内产生电子-空穴对,将该载流子利用外部施加电压取出到外部电路,作为光致电流量被检测。另外,为了检测紫外光,也提案有ZnO基料(base)的紫外光传感器。尤其是,已知氧化物表面由于周边气体情况和湿度表面电阻率而发生变化,利用该效果的是半导体式的气体传感器。ZnO也不例外,由于外部气体中的酶浓度、水分和有机分子等的周边气体情况,表面电阻率发生变化。因此,我们在专利文献I中提案有紫外光检测元件。该元件为了尽量抑制不稳定的膜表面状态的影响,抑制每个元件的电特性的偏差,使用埋入型电极。现有技术文献专利文献I :日本特开2010-276483号本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光检测元件,其特征在于,包括:透光性基板;配置在所述透光性基板上的吸收光的光吸收层;配置在所述透光性基板上的检测电极;和以覆盖所述光吸收层的表面的方式形成的绝缘膜,所述检测电极的至少一部分埋入到所述光吸收层,使光从所述透光性基板的背面入射,利用所述检测电极检测从所述光吸收层产生的电流。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:赤坂俊辅藤井哲雄坂本晃辉
申请(专利权)人:罗姆股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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