板状体研磨装置及研磨系统制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种板状体研磨装置及研磨系统，具有：板状体保持单元，保持一边的长度为1000mm以上的板状体；研磨垫，与被所述板状体保持单元保持的所述板状体相对设置，所述研磨垫形成有：多个浆料供给孔，在与所述板状体相对的相对面上形成，向所述研磨垫和所述板状体的抵接部供给浆料；浆料吸引孔，仅在与所述板状体相对的相对面的中央部形成，吸引被供给到所述抵接部的所述浆料。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及板状体研磨装置及研磨系统。
技术介绍
液晶显示器等所使用的FPD (Flat Panel Display)用的玻璃基板，利用称为浮法的玻璃制法将熔融玻璃成形为板状，通过在专利文献I等中公开的连续式的研磨装置，将表面的微小的凹凸及波纹研磨除去，由此，将该板状玻璃制成满足了作为Fro用的玻璃基板所要求的平面度的薄板。如专利文献I所述的研磨装置，使用用分散剂使研磨材料分散而成的浆料，研磨玻璃基板的表面(以下，称为被研磨面)。浆料从设于研磨垫的中央部的浆料供给孔向研磨垫的研磨面与玻璃基板的被研磨面之间供给。向研磨垫的研磨面和玻璃基板的被研磨面之间供给的浆料的量在研磨面上不均匀时，被研磨后的玻璃基板的被研磨面的平面度变差。因此，所供给的浆料需要均匀遍布在研磨面上。本申请人在日本特愿2010 - 111116号中提出了一种研磨垫，其为了使所供给的浆料均匀遍布在玻璃基板的被研磨面上，而在研磨面的中央设有浆料供给孔，利用从中心朝向外侧形成的多个槽将研磨面分割成放射状。另外，例如专利文献2所记载的研磨装置，其研磨垫在与基板相对的面上具有平面度高的研磨面，在研磨面上沿前后方向以大致等间隔本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种板状体研磨装置，具有：板状体保持单元，保持一边的长度为1000mm以上的板状体；研磨垫，与被所述板状体保持单元保持的所述板状体相对设置，所述研磨垫形成有：多个浆料供给孔，在与所述板状体相对的相对面上形成，向所述研磨垫和所述板状体的抵接部供给浆料；浆料吸引孔，仅在与所述板状体相对的相对面的中央部形成，吸引被供给到所述抵接部的所述浆料。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：福田真，中谷嘉孝，山本一义，木村刚，秋山秀，横田稔，
申请(专利权)人：旭硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：