一种铝电解及微电子工业产生的碳氟化合物的分解方法技术

一种铝电解及微电子工业产生的碳氟化合物的分解方法，属废气处理领域。本发明专利技术按照以下步骤进行：（1）将固体金属放入一个坩埚内，通过真空系统将反应器内空气抽尽，通入保护气体氩气后进行加热，加热到预定温度；（2）当温度升至预定温度后，通过真空系统抽出保护性气体，并通入待分解的PFCs气体，密闭反应条件下进行反应，反应时间为：30～40分钟；将反应器冷却到室温后，取出反应物，坩埚内反应产物自然分层，得到可回收利用的碳和金属氟化物、氯化物。本发明专利技术实现了处理PFCs的零排放，降低了能耗和处理成本。而且整个处理流程短，过程简单，加上反应条件不是很苛刻，对反应器的要求也不是很高，这样也可以降低设备的费用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属废气处理领域，特别涉及。
技术介绍
全氟碳化物PFCs，主要包括CF4 ,C2F6和C3H8等，是造成全球温室效应的高潜势气体。其中CF4和C2F6的CO2温室效应等效值分别为6500和9200，吨铝的CF4和C2F6物排放量相当于I. 35吨CO2，超过生产每吨电解铝直接产生的I. 22吨C02。即，铝电解排放烟气中CF4和C2F6对温室效应的影响超过CO2的影响。其中90%的CF4和C2F6来源于铝电解工业，其余的由微电子工业产生。我国不仅是铝生产大国，而且生产大量的微电子产品，排放大量的PFCs。因此，将CF4、C2F6和C3H8分解或转化，减少温室气体的排放，达到国家的减排的目标，是我国急需解决的问题。·目前在微电子工业采用等离子分解法处理废气CF4和C2F6。但该分解方法尽管可以消除PFCs，但在消除分解中产生C02、CO、COF2或HF，需要后继多工序处理这些气体，而且由于PFCs性质稳定，也要消耗相当多的能量。空气燃烧法会产生有毒的NOx和大量的污染废水。化学分解法还未找到一种能高效而且能大量处理PFCs的催化剂。
技术实现思路
本专利技术针对已存在处理方法的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种铝电解及微电子工业产生的碳氟化合物的分解方法，其特征在于按照以下步骤进行：（1）将固体金属放入一个坩埚内，通过真空系统将反应器内空气抽尽，通入保护气体氩气后进行加热，加热到预定温度；（2）当温度升至预定温度后，通过真空系统抽出保护性气体，并通入待分解的PFCs气体，密闭反应条件下进行反应，反应时间为：30～40分钟；将反应器冷却到室温后，取出反应物，坩埚内反应产物自然分层，得到可回收利用的碳和金属氟化物、氯化物。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：石忠宁，唐卫，王兆文，高炳亮，胡宪伟，徐君莉，
申请(专利权)人：东北大学，
类型：发明
国别省市：