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一种铝电解及微电子工业产生的碳氟化合物的分解方法，属废气处理领域。本发明按照以下步骤进行：（1）将固体金属放入一个坩埚内，通过真空系统将反应器内空气抽尽，通入保护气体氩气后进行加热，加热到预定温度；（2）当温度升至预定温度后，通过真空系统抽...
该专利属于东北大学所有，仅供学习研究参考，未经过东北大学授权不得商用。

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