一种载物台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种载物台，用于扫描电子显微镜扫描，所述载物台为半圆柱体。半圆柱体除了具有上下两个半圆形平面以及一个曲面之外，还具有一个截面，进行颗粒检测和平面检测时，待检测的物体都能够很好的用双面导电碳胶带粘贴在上面的半圆形平面上，将进行截面检测时，待检测的物体的截面朝上，其侧面具有较大的面积，将其侧面用双面导电碳胶带贴附在半圆柱体的截面上，增大了待测的物体的用于固定的面积，从而增加了待测的物体的稳定性，实现了进行截面检测时待检测的物体稳定的放置在载物台上，并且能够实现颗粒检测、平面检测和截面检测三种检测同时进行。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

一种载物台
本技术涉及太阳能光伏行业检测
，尤其涉及一种载物台。
技术介绍
当电力、煤炭、石油等不可再生能源频频告急，能源问题日益成为制约国际社会经济发展的瓶颈时，越来越多的国家开始实行“阳光计划”，开发太阳能资源，寻求经济发展的新动力。欧洲一些高水平的核研究机构也开始转向可再生能源。在国际光伏市场巨大潜力的推动下，各国的太阳能光伏业争相投入巨资，扩大生产，以争一席之地。目前在太阳能光伏行业里，扫描电子显微镜扫描的检测工作中经常会遇到颗粒状物质形貌检测，比如碳化硅颗粒和硅粉等，以及电池片栅线或制绒表面的形貌分析、栅线截面或者铝背场断面分析一起送样检测的情况，简单的来说，就是对待检测物体进行颗粒检测、表面检测以及截面检测三种检测。其中，扫描电子显微镜是指利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等的设备装置。同时使用扫描电子显微镜与真空腔室配合使用完成扫描检测，样品在真空腔室接受电子束攻击，产生各种电子信号，供各种探测装置搜集，用以转变成测试要求所需的各种信息。请参考图6，图6为现有技术中载物台的结构示意图。对于颗粒检测、平面检测以及截面检测，需要将待检测的物体通过双面导电碳胶带粘贴在载物台上，然后将载物台固定在真空腔室的样品台上，扫描电子显微镜开始进行扫描。载物台本身的载物面为一个圆面，颗粒检测和平面检测时，待检测的物体都能够很好的用双面导电碳胶带粘贴在载物面上，但是在进行截面检测时，太阳能光伏行业里的待检测的物体均为片状或者扁状的物体， 需要将截面朝上进行立放，此时需要将与该截面相对应的面用双面导电碳胶带粘贴在载物台上，使得截面朝上，便于接受电子束的攻击，与该截面相对应的面的面积也是较小的，那么待检测的物体不能够稳定的固定在载物面上，在电子束的攻击下，由于样品的不稳定，产生了图像模糊不清等问题。因此，如何提供一种载物台，以实现进行截面检测时待检测的物体稳定的放置在载物台上，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种载物台，以实现进行截面检测时待检测的物体稳定的放置在载物台上。为了达到上述目的，本技术提供如下技术方案一种载物台，用于扫描电子显微镜扫描，所述载物台为半圆柱体。优选的,上述半圆柱体的圆弧对应的圆心角不小于180°。优选的，上述半圆柱体的圆面上设置有第一铜柱孔，用于放置铜柱。优选的，上述第一铜柱孔为多个。优选的，上述第一铜柱孔的圆心组成一条圆弧，所述圆弧的圆心与所述半圆柱体的圆心重合。优选的，上述第一铜柱孔的直径为5mm-10mm。优选的，上述半圆柱体的截面上设置有第二铜柱孔，用于放置铜柱。优选的，上述第二铜柱孔的直径为5mm。本技术提供的载物台用于扫描电子显微镜扫描，所述载物台为半圆柱体。半圆柱体除了具有上下两个半圆形平面以及一个曲面之外，还具有一个截面，进行颗粒检测和平面检测时，待检测的物体都能够很好的用双面导电碳胶带粘贴在上面的半圆形平面上，将进行截面检测时，待检测的物体的截面朝上，其侧面具有较大的面积，将其侧面用双面导电碳胶带贴附在半圆柱体的截面上，增大了待测的物体的用于固定的面积，从而增加了待测的物体的稳定性，实现了进行截面检测时待检测的物体稳定的放置在载物台上，并且能够实现颗粒检测、平面检测和截面检测三种检测同时进行。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为本技术实施例提供的载物台第一种具体实施方式的结构示意图；图2为本技术实施例提供的载物台中圆心角的的结构示意图；图3为本技术实施例提供的载物台第二种具体实施方式的结构示意图；图4为本技术实施例提供的载物台第三种具体实施方式的结构示意图；图5为本技术实施例提供的载物台使用时的示意图；图6为现有技术中载物台的结构示意图。上图1-6 中半圆柱体I、截面2、第一铜柱孔3、第二铜柱孔4、颗粒检测中待检测的物体5、平面检测中待检测的物体6、截面检测中待检测的物体7。具体实施方式本技术实施例提供了一种载物台，以实现进行截面检测时待检测的物体稳定的放置在载物台上。为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参考图I和图5，图I为本技术实施例提供的载物台第一种具体实施方式的结构示意图，图5为本技术实施例提供的载物台使用时的示意图。本技术提供的载物台用于扫描电子显微镜扫描，载物台为半圆柱体I。半圆柱体I除了具有上下两个半圆形平面以及一个曲面之外，还具有一个截面2，进行颗粒检测和平面检测时，待检测的物体都能够很好的用双面导电碳胶带粘贴在上面的半圆形平面上，将进行截面检测时，待检测的物体的截面朝上，其侧面具有较大的面积，将其侧面用双面导电碳胶带贴附在半圆柱体I 的截面2上，增大了待测的物体的用于固定的面积，从而增加了待测的物体的稳定性，实现了进行截面检测时待检测的物体稳定的放置在载物台上。同时在现有技术中，对于颗粒检测、平面检测和截面检测三种检测，一般采用单独安装待检测的物体，也就是颗粒检测、平面检测和截面检测三种检测中的待检测的物体分别固定在载物台上送入到真空腔室的样品台上，而每增加一次装样送样的次数，相关设备的准备时间就会增加5分钟左右，这样无形中增加了设备的运行成本，缩短了包括真空腔室在内的整个真空系统的使用寿命，同时还将时间浪费在了设备的重复抽空作业上，劳动效率低下。而本技术提供的载物台在使用时，将进行颗粒检测和平面检测的待检测的物体固定在半圆柱体I的半圆形平面上，然后将进行截面检测的待检测的物体固定在半圆柱体I的截面2上，这样就能够实现颗粒检测、平面检测和截面检测三种检测同时进行，缩短了装样送样的作业时间以及次数，并且降低了设备的运行成本，如图5所示，颗粒检测中待检测的物体5、平面检测中待检测的物体6和截面检测中待检测的物体7共同固定在半圆柱体I上。请参考图2，图2为本技术实施例提供的载物台中圆心角的的结构示意图，具体的，半圆柱体I的圆弧对应的圆心角不小于180°，如图2中的角α所示，当将半圆柱体 I放置在真空腔室中的样品台上时，半圆柱体I过小的话，难以在样品台上将其固定，当半圆柱体I的圆弧对应的圆心角不小于180°时,那么整个半圆柱体I的体积超过完整的半圆柱体的体积，很容易将其固定在样品台上。请参考图3，图3为本技术实施例提供的载物台第二种具体实施方式的结构示意图，具体的，半圆柱体I的圆面上设置有第一铜柱孔3，用于放置铜柱。使用时将铜柱放置在第一铜柱孔3中，铜柱具有良好的导电性能，将进行颗粒检测和平面检测的待检测的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种载物台，用于扫描电子显微镜扫描，其特征在于，所述载物台为半圆柱体（1）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李莉，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：实用新型
国别省市：