用于真空器件的真空保持系统技术方案

技术编号:8348305 阅读:153 留言:0更新日期:2013-02-21 02:24
本发明专利技术涉及真空器件的真空保持技术领域,公开了一种用于真空器件的真空保持系统,所述真空保持系统包括:吸气剂元件、固定部和真空阀,所述吸气剂元件安装在所述固定部上,所述真空阀连接于所述固定部与所述真空器件之间。本发明专利技术所设计的真空保持系统体积小,成本低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空器件的真空保持
,特别是涉及一种用于真空器件的真空保持系统
技术介绍
在科技飞速发展的今天,许多仪器设备对真空的要求越来越高,真空设备在长途运输过程中需要保持一定的真空度,如果没有真空保持系统,真空设备会收到环境大气的污染;应付突发事件的真空仪器在贮存过程中不可能持续供电,如果没有真空保持系统,仪器就不具备应对突发事件的能力,所以设计一套完备的真空保持系统是非常必要的。 真空保持系统可广泛应用在各类民用、军用电子管及真空器件中,更适用于各种高压及振动条件下要求高可靠性的军用各类真空器件中,如激光管、行波管、微波管、图像增强仪、真空玻璃等,还可在填充惰性气体的器件中应用,以提纯惰性气体。例如,质谱仪使用离子泵作为获得真空的主要手段,但是离子泵的启动有一定的真空度要求,然而,质谱仪在长时间停机断电后无法保证真空室内保持离子泵要求的启动真空度,故此需要真空保持系统进行维持。美国SAES (赛斯集团)开发了一种用于保持真空度的多孔薄膜吸气剂(HighPorosity Thin Film Getters或HPTF)。这种吸气剂是由在金属基材上涂镀高孔隙的、机械性能稳本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于真空器件的真空保持系统,其特征在于,所述真空保持系统包括:吸气剂元件、固定部和真空阀,所述吸气剂元件安装在所述固定部上,所述真空阀连接于所述固定部与所述真空器件之间。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张扬李玉江张文凭王怀德陈智勇唐松高松海
申请(专利权)人:北京市北分仪器技术有限责任公司
类型:发明
国别省市:

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