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本发明涉及真空器件的真空保持技术领域，公开了一种用于真空器件的真空保持系统，所述真空保持系统包括：吸气剂元件、固定部和真空阀，所述吸气剂元件安装在所述固定部上，所述真空阀连接于所述固定部与所述真空器件之间。本发明所设计的真空保持系统体积小，...
该专利属于北京市北分仪器技术有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京市北分仪器技术有限责任公司授权不得商用。

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