一种监控设备运行状态的系统及方法技术方案

本发明专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种监控设备运行状态的系统及方法。本发明专利技术提出一种监控设备运行状态的系统及方法，通过根据预设的作业时间与运行中实际作业时间的比对，对疑似异常死机的设备及时进行自动报警，同时将该疑似死机的设备信息显示出来，以便于工程师方便、及时、准确的对异常的生产设备进行检查分析，从而在提高工程师巡检效率的同时，有效的避免了生产设备机时的浪费，进而降低了整个生产工艺的成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及。
技术介绍
目前，在晶圆厂的全自动化生产线上的生产设备经常是全天候(24小时)运转，即设备自行进行生产、控制，及自动在上下工序间传送；现有技术中，主要是通过电脑终端对该自动化生产线及设备进行监控，主要是将各设备的上分别与制造执行系统(Manufacturing Execution System,简称MES)进行通讯连接，以更新MES中各设备运行状态信息；然而，当设备发生死机等情况时，设备会中断与MES之间的连接，而现有的MES系统又不会及时发现该通讯中断并进行报警，进而导致产品工艺的异常，浪费设备机时，且使用人力进行巡查处理时，又会浪费大量的人力成本，致使整个生产工艺成本的增加。
技术实现思路
针对上述存在的问题，本专利技术揭示了，主要是根据预设的作业时间与运行中实际作业时间的比对，对疑似异常死机的设备及时进行自动报警的工艺。 本专利技术的目的是通过下述技术方案实现的 一种监控设备运行状态的系统，应用于自动化生产线上，包括用于对芯片进行工艺处理的生产设备，其中，还包括 监测模块，与所述生产设备进行通讯连接，以用于从所述生产设备上提取设备信本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种监控设备运行状态的系统，应用于自动化生产线上，包括用于对芯片进行工艺处理的生产设备，其特征在于，还包括：？监测模块，与所述生产设备进行通讯连接，以用于从所述生产设备上提取设备信息；判断模块，分别与所述自动化生产线和所述检测模块进行通讯连接，根据提取的所述设备信息判断所述生产设备的运行状态，并根据该运行状态决定是否触发警报。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张晓东，周利民，李臻，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：