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本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种监控设备运行状态的系统及方法。本发明提出一种监控设备运行状态的系统及方法，通过根据预设的作业时间与运行中实际作业时间的比对，对疑似异常死机的设备及时进行自动报警，同时将该疑似死机的设备信息显示出来，以便...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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