电子级磷酸的生产装置制造方法及图纸

一种电子级磷酸的生产装置，该装置由加压泵、真空泵、真空喷射泵、燃烧炉、坩埚、气体过滤器、微孔过滤器、吸收槽、成品槽组成，加压泵连接气体过滤器，气体过滤器连接位于燃烧炉内的坩埚，燃烧炉通过真空喷射泵喷射头连接吸收槽，吸收槽与真空喷射泵连接，吸收槽的另一端通过真空泵连接微孔过滤器，微孔过滤器连接成品槽。由于本实用新型专利技术采用上述结构，该装置结构简单、耐腐蚀、能耗低、产量高，同时不受环境影响，易于操作控制，能有效地保证电子级磷酸的产品质量。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种用黄磷直接制取磷酸的装置。
技术介绍
电子级磷酸广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业，还可用于制备高纯磷酸盐，也是高纯有机磷产品的主要原料，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响。由于电子级磷酸中要求金属含量极少，而磷酸的分离难度较大，通常以高纯黄磷、三氯氧磷为原料或初步提纯的工业级磷酸来制备电子级磷酸。目前已知的电子级磷酸的制备方法有高纯磷法、三氯氧磷法以及工业提纯法。高纯磷法是将工业黄磷或红磷提纯制成高纯磷，然后与净化后的空气或氧反应生成五氧化二磷，再用超纯水吸收生成高纯磷酸；三氯氧磷法是将工业黄磷制成液态三氯氧磷，再将三氯氧磷精馏提纯，精制后的三氯氧磷与超纯水反应生成磷酸和氯化氢，蒸馏除去氯化氢可制得高纯磷酸，将磷酸调节到所需浓度后，再用微孔滤膜过滤除去微细固体尘埃，即可得到电子级磷酸。上述两种生产方法所用的设备结构复杂，能耗高，故生产成本高，而且对设备腐蚀严重，因燃烧量大不易于操作控制，不能有效地保证电子级磷酸的产品质量。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种结构简单、能耗低、耐腐蚀、能有效地保证产品质量的电子级磷酸的生产装置。本技术的目的是这样实现的该装置由加压泵、真空泵、真空喷射泵、燃烧炉、坩埚、气体过滤器、微孔过滤器、吸收槽、成品槽组成，加压泵连接气体过滤器，气体过滤器连接位于燃烧炉内的坩埚，燃烧炉通过真空喷射泵喷射头连接吸收槽，吸收槽与真空喷射泵连接，吸收槽的另一端通过真空泵连接微孔过滤器，微孔过滤器连接成品槽。由于本技术采用上述结构，该装置结构简单、耐腐蚀、能耗低、产量高，同时不受环境影响，易于操作控制，能有效地保证电子级磷酸的产品质量。附图说明图I为本技术实施例的结构图。图中I加压泵、2气体过滤器、3坩埚、4燃烧炉、5真空喷射泵喷射头、6真空喷射泵、7吸收槽、8真空泵、9微孔过滤器、10成品槽。具体实施方式实施例该装置由加压泵I、真空泵8、真空喷射泵6、燃烧炉4、坩埚3、气体过滤器2、微孔过滤器9、吸收槽7、成品槽10组成，加压泵I连接气体过滤器2，气体过滤器2连接位于燃烧炉4内的坩埚3，燃烧炉4通过真空喷射泵喷射头5连接吸收槽7，吸收槽7与真空喷射泵6连接，吸收槽7的另一端通过真空泵8连接微孔过滤器9，微孔过滤器9连接成品槽10。将100公斤纯度大于或等于99. 999%的高纯黄磷投入到坩埚3中，同时用加压泵I喷入氧气或经净化并过滤的空气，使黄磷充分燃烧，燃烧产生的五氧化二磷通过真空喷射泵6抽入并被高纯水(达到GB6682— 92规定的二级水)洗涤后进入吸收槽7，吸收槽7的磷酸溶液在经泵循环喷射继续洗涤吸收真空泵抽入的五氧化二磷，直至吸收槽中磷酸溶液达到85%后，用真空泵8将该磷酸通过微孔过滤器9送入成品槽10，产品采用电感耦合等离子体吸收光谱仪(ICP-AES)和电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)分析，其分析结果如下本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子级磷酸的生产装置，该装置由加压泵、真空泵、真空喷射泵、燃烧炉、坩埚、气体过滤器、微孔过滤器、吸收槽、成品槽组成，其特征是：加压泵连接气体过滤器，气体过滤器连接位于燃烧炉内的坩埚，燃烧炉通过真空喷射泵喷射头连接吸收槽，吸收槽与真空喷射泵连接，吸收槽的另一端通过真空泵连接微孔过滤器，微孔过滤器连接成品槽。

【技术特征摘要】
1.一种电子级磷酸的生产装置，该装置由加压泵、真空泵、真空喷射泵、燃烧炉、坩埚、气体过滤器、微孔过滤器、吸收槽、成品槽组成，其特征是加压泵连接气体过滤器，气...

【专利技术属性】
技术研发人员：向东，舒骁骥，赵永胜，潘先伟，
申请(专利权)人：向东，
类型：实用新型
国别省市：