显示面板及其制造方法技术

配置于晶体管阵列基板的多个驱动单元包括一部分有缺陷的驱动单元。在将多个像素电极中与有缺陷的驱动单元分别对应的像素电极称为第一像素电极、将多个像素电极中与没有缺陷的驱动单元分别对应的像素电极称为第二像素电极的情况下，第二像素电极各自形成为其一部分进入对应的接触孔，第二像素电极各自的进入接触孔的部分与对应的驱动单元的供电衬垫接触，从而第二像素电极各自与对应的驱动单元电连接，第一像素电极各自与对应的驱动单元保持非电连接，通过连接部与相邻的第二像素电极的任一第二像素电极连接。所述连接部各自在从所述第一像素电极到所述相邻的第二像素电极的形成有各个所述连接部的全部区域，以与所述层间绝缘膜接触的状态而形成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及有源矩阵驱动型的显示面板及其制造方法。
技术介绍
在这种显示面板中，按呈矩阵状配置的各像素电极而配置有驱动单元。各驱动单元构成为包括薄膜晶体管元件。理想的是各驱动单元的所有薄膜晶体管元件都正常工作，但实际上由于栅极绝缘膜的耐压不良、布线的断线等，有时会存在几个有缺陷的薄膜晶体管元件。当通过包括有缺陷的薄膜晶体管元件的驱动单元来驱动像素电极时，有可能会导致在显示面板产生暗点和/或亮点。因此，例如在专利文献1中，使有缺陷的驱动单元和与所述驱动单元对应的像素电极非电连接，并且使所述像素电极和与没有缺陷的驱动单元对应的像素电极电连接。更详细地说明，在专利文献1中，在基板上呈矩阵状配置多个像素电极，并且使栅极信号线在行方向上延伸，使源极信号线在列方向上延伸，来形成相邻的像素电极之间。即，多个像素电极和各信号线存在于同层上、且在相邻的像素电极之间存在栅极信号线和源极信号线中的任一信号线。因此，为了连接相邻的像素电极彼此，由绝缘膜覆盖所述信号线以使得不会各像素电极之间的信号线不发生短路，然后经由金属薄膜连接相邻的像素电极彼此。根据该结构，与有缺陷的驱动单元对应的像素电极通过与其电连接的没有缺陷的驱动单元来驱动，因此能够防止在显示面板产生暗点和/或亮点。在先技术文献专利文献1：日本特开昭63-276032号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题但是，从防止短路的观点考虑，覆盖信号线的绝缘膜的膜厚优选在某种程度上为厚绝缘膜。这是因为：若绝缘膜为薄膜，则在所述绝缘膜容易发生针孔和/或撕裂等，即使假设由绝缘膜覆盖信号线，在所述绝缘膜上形成的金属薄膜与信号线也很可能发生短路。若发生短路，则与没有缺陷的驱动单元对应的像素电极也无法正常驱动，因此显示面板的不良范围扩大，会导致画质进一步的劣化。然而，若使绝缘膜的膜厚加厚，则基板与绝缘膜的段差会变大，因此金属薄膜容易断线。这是因为：金属薄膜通过溅射法等形成，但由于基板与绝缘膜的段差变大，因此难以覆盖绝缘膜的侧面部分。若发生断线，则相邻的像素电极彼此没有电连接，因此画质没有得以改善。于是，本专利技术的目的在于提供一种相邻的像素电极的连接部分不容易断线的显示面板。用于解决问题的手段为了解决上述问题，本专利技术的一种方式的显示面板包括：晶体管阵列基板，其呈矩阵状配置有多个包括薄膜晶体管元件的驱动单元；层间绝缘膜，其形成在所述晶体管阵列基板上，在与所述多个驱动单元对应的各区域的一部分形成有接触孔；以及多个像素电极，其与所述多个驱动单元对应地呈矩阵状配置在所述层间绝缘膜上，所述多个驱动单元包括一部分有缺陷的驱动单元，在将所述多个像素电极中与有缺陷的驱动单元分别对应的像素电极称为第一像素电极、将所述多个像素电极中与没有缺陷的驱动单元分别对应的像素电极称为第二像素电极的情况下，所述第二像素电极各自形成为其一部分进入对应的接触孔，所述第二像素电极各自的进入接触孔的部分与对应的驱动单元的供电衬垫接触，从而所述第二像素电极各自与对应的驱动单元电连接，所述第一像素电极各自与对应的驱动单元保持非电连接，所述第一像素电极各自通过由导电性材料构成的连接部与相邻的第二像素电极的任一第二像素电极连接，所述连接部各自在从所述第一像素电极到所述相邻的第二像素电极的形成有各个所述连接部的全部区域，以与所述层间绝缘膜接触的状态而形成。专利技术的效果在本专利技术的一种方式的显示面板中，所述第一像素电极各自通过由导电性材料构成的连接部与相邻的第二像素电极的任一第二像素电极连接，所述连接部各自在从所述第一像素电极到所述相邻的第二像素电极的形成有各个所述连接部的全部区域，以与所述层间绝缘膜接触的状态而形成。换言之，在所述层间绝缘膜上的、从所述第一像素电极到所述相邻的第二像素电极的形成有各个连接部的全部区域不存在段差。因此，连接部不容易断线。另外，所述第一像素电极各自通过与由所述连接部连接的所述第二像素电极对应的没有缺陷的驱动单元来驱动，因此能够防止在显示面板产生亮点或暗点。由此，能够抑制由于亮点或暗点导致的画质的劣化。附图说明图1的(a)是表示包括本专利技术实施方式1的显示面板105的显示装置100的电结构的框图。图1的(b)是表示显示面板105具有的一个像素电路的电路结构及与其周边电路的连接的图。图2是表示显示面板105中的栅极线200、数据线201、电源线202以及驱动单元209的布局的示意俯视图。图3是表示显示面板105中的像素电极205的布局的示意俯视图。图4的(a)是示意表示显示面板105的结构的局部剖视图(图2的A-A’剖面)。图4的(b)是示意表示显示面板105的结构的局部剖视图(图2的B-B’剖面)。图5是示意表示显示面板105的结构的局部剖视图(图3的C-C’剖面)。图6是表示显示面板105的制作工序的图。图7是表示像素电极形成工序和像素电极连接工序的一例的工序图。图8是表示像素电极形成工序和像素电极连接工序中后续于图7所示工序的部分的一例的工序图。图9是示意表示显示面板105的主要部分的局部剖视图。图10是变形例1的显示面板中的像素电极的示意俯视图。图11是示意表示变形例1的显示面板的结构的局部剖视图(图10的D-D’剖面)。图12是表示变形例1的显示面板105的制作工序的图。图13是表示变形例1的像素电极形成工序的一例的工序图。图14是表示像素电极形成工序中后续于图13所示工序的部分的一例的工序图。图15是变形例2的显示面板中的像素电极的示意俯视图。图16是表示变形例2的像素电极形成工序的一例的工序图(与图15的E-E’剖面相当)。图17是表示像素电极形成工序中后续于图16所示工序的部分的一例的工序图。图18是变形例3的显示面板中的像素电极的示意俯视图。图19是表示变形例3的显示面板的制作工序的图。图20是表示变形例3的像素电极形成工序的一例的工序图(与图19的F-F’剖面相当)。图21是表示像素电极形成工序中后续于图20所示工序的部分的一例的工序图。图22是表示变形例4的显示面板中的栅极线200a、电源线202a、驱动单元501以及像素电极601的布局的示意俯视图。图23的(a)是示意表示变形例4的显示面板结构的局部剖视图(图22的G-G’剖面)。图23的(b)是示意表示变形例4的显示面板结本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种显示面板，包括：
晶体管阵列基板，其呈矩阵状配置有多个包括薄膜晶体管元件的驱动
单元；
层间绝缘膜，其形成在所述晶体管阵列基板上，在与所述多个驱动单
元对应的各区域的一部分形成有接触孔；以及
多个像素电极，其与所述多个驱动单元对应地呈矩阵状配置在所述层
间绝缘膜上，
所述多个驱动单元包括一部分有缺陷的驱动单元，
在将所述多个像素电极中与有缺陷的驱动单元分别对应的像素电极称
为第一像素电极、将所述多个像素电极中与没有缺陷的驱动单元分别对应
的像素电极称为第二像素电极的情况下，
所述第二像素电极各自形成为其一部分进入对应的接触孔，
所述第二像素电极各自的进入接触孔的部分与对应的驱动单元的供电
衬垫接触，从而所述第二像素电极各自与对应的驱动单元电连接，
所述第一像素电极各自与对应的驱动单元保持非电连接，
所述第一像素电极各自通过由导电性材料构成的连接部与相邻的第二
像素电极的任一第二像素电极连接，
所述连接部各自在从所述第一像素电极到所述相邻的第二像素电极的
形成有各个所述连接部的全部区域，以与所述层间绝缘膜接触的状态而形
成。
2.根据权利要求1所述的显示面板，
所述多个像素电极和所述连接部各自由相同的材料构成，
所述第一像素电极、所述相邻的第二像素电极以及所述连接部各自一
体形成。
3.根据权利要求2所述的显示面板，
电极材料膜中的与所述多个像素电极和所述连接部各自相当的部分在

\t由抗蚀剂材料覆盖的状态下被蚀刻，由此所述第一像素电极、所述相邻的
第二像素电极以及所述连接部各自一体形成。
4.根据权利要求2或3所述的显示面板，
所述连接部各自由绝缘部覆盖。
5.根据权利要求4所述的显示面板，
所述绝缘部为划分所述多个像素电极的隔壁。
6.根据权利要求1～5中的任一项所述的显示面板，
至少一个第一像素电极被分割，
所分割出的第一像素电极各自分别与相邻于所述第一像素电极的各第
二像素电极连接。
7.根据权利要求1～5中的任一项所述的显示面板，
所述第一像素电极各自通过对应的驱动单元的所述薄膜晶体管元件中
的、向所述第一像素电极各自的供电路径被切断，从而与对应的有缺陷的
驱动单元保持非电连接。
8.根据权利要求1～5中的任一项所述的显示面板，
所述第一像素电极各自为与对应的接触孔相当的部分欠缺的形状。
9.根据权利要求1～8中的任一项所述的显示面板，
所述层间绝缘膜包括形成在所述晶体管阵列基板上的钝化膜、和形成
在所述钝化膜上的平坦化膜。
10.根据权利要求1～9中的任一项所述的显示面板，
所述第一像素电极各自与行方向上相邻的第二像素电极连接。
11.根据权利要求1～9中的任一项所述的显示面板，
所述第一像素电极各自与列方向上相邻的第二像素电极连接。
12.根据权利要求1～11中的任一项所述的显示面板，
所述显示面板是电致发光显示面板。
13.根据权利要求12所述的显示面板，
所述显示面板是有机电致发光显示面板。
14.一种显示面板的制造方法，包括：
准备工序，准备基板；
晶体管阵列基板形成工序，通过在所述基板上呈矩阵状配置多个包括
薄膜晶体管元件的驱动单元，形成晶体管阵列基板；
层间绝缘膜形成工序，在所述晶体管阵列基板上形成层间绝缘膜，所
述层间绝缘膜在与所述多个驱动单元对应的各区域的一部分形成有接触
孔；以及
像素电极形成工序，在所述层间绝缘膜上与所述多个驱动单元对应地
呈矩阵状配置多个像素电极，
所述多个驱动单元包括一部分有缺陷的驱动单元，
在将所述多个像素电极中与有缺陷的驱动单元分别对应的像素电极称
为第一像素电极、将所述多个像素电极中与没有缺陷的驱动单元分别对应
的像素电极称为第二像素电极的情况下，
将所述第二像素电极各自形成为其一部分进入对应的接触孔，
通过使所述第二像素电极各自的进入接触孔的部分与对应的驱动单元
的供电衬垫接触，使所述第二像素电极各自与对应的驱动单元电连接，
使所述第一像素电极各自与对应的驱动单元非电连接，
将所述第一像素电极各自通过由导电性材料构成的连接部与相邻的第
二像素电极的任一第二像素电极连接，
在从所述第一像素电极到所述相邻的第二像素电极的形成有各个所述
连接部的全部区域，形成为使所述连接部各自与所述层间绝缘膜接触。
15.根据权利要求14所述的显示面板的制造方法，
在所述像素电极形成工序中，使用与像素电极相同的材料作为连接部
的材料，一体形成所述第一像素电极、所述相邻的第二像素电极以及所述
连接部各自。
16.根据权利要求15所述的显示面板的制造方法，
所述像素电极形成工序包括：
电极材料膜形成工序，在所述层间绝缘膜上形成由电极材料构成的膜；
抗蚀剂膜形成工序，在所述电极材料膜上形成抗蚀剂膜；
抗蚀剂膜图案形成工序，将所述抗蚀剂膜图案形成为与所述多个像素
电极对应的预定形状；
抗蚀剂材料追加工序，通过对图案形成为所述预定形状的抗蚀剂膜中
与所述第一像素电极各自和相邻的所述第二像素电极的任一第二像素电极
之间相当的部分，追加抗蚀剂材料，从而对与从所述第一像素电极各自到
所述任一第二像素电极的区域相当的部分进行填埋；
蚀刻工序，通过对所述电极材料膜进行蚀刻，一体形成所述第一像素
电极、所述相邻的第二像素电极以及所述连接部各自。
17.根据权利要求15或16所述的显示面板的制造方法，
还包括由绝缘部覆盖所述连接部各自的工序。
18.根据权利要求17所述的显示面板的制造方法，
所述绝缘部为划分所述多个像素电极的隔壁。
19.根据权利要求16～18中的任一项所述的显示面板的制造方法，
所述像素电极形成工序中，在所述蚀刻工序前还包括抗蚀剂膜除去工
序，在所述抗蚀剂膜除去工序中，通过激光除...

【专利技术属性】
技术研发人员：竹内孝之，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：
国别省市：