【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种金属光栅偏振器,特别涉及一种可调谐高消光比金属光栅偏振器。
技术介绍
偏振器件是光学器件中使用最早、应用最广的器件之一。通常产生偏振光的器件有偏振棱镜、介质膜层结构、二向色性偏振片等。金属光栅偏振器是一种新兴的基于微纳结构的偏振器件,较传统的偏振器件具有体积小、片子薄、易集成、性能高等优点,因此已广泛应用于光纤通信、液晶显示、光学投影、光电检测等领域。其通常的制作方法是在基底表面镀金属薄膜,再镀一层光刻胶作为掩膜版,使用电子束直写的方式在光刻胶表面形成光栅结构,然后采用离子束蚀刻工艺,将光刻胶上的槽形转移到金属薄膜上,形成金属光栅,即完成了金属光栅偏振器模板的制作。采用纳米压印技术,可将模版复制出更多的结构相同、 参数相同的金属光栅偏振器。入射光到达金属光栅表面时,电场方向平行于光栅刻槽的TE分量(横电波)能够激发金属光栅的电子而产生电流,使该分量的偏振光发生反射;电场方向垂直于光栅刻槽方向的TM分量(横磁波)无法激发金属中的电子,因此不会被反射,除少量吸收外,大部分能够通过光栅层,形成透射光,因此金属光栅的透射光中,TM分量远多于TE分量,具 ...
【技术保护点】
一种可调谐高消光比金属光栅偏振器,其特征在于,包括具有相同结构参数的上下两层独立正对的金属光栅偏振器,可伸缩材料固定在上下两层金属光栅偏振器之间,并上下两金属光栅面保持平行,不同驱动电压驱动可伸缩材料,对应不同可伸缩材料长度,两金属光栅偏振器之间的距离为中间可伸缩材料的长度。
【技术特征摘要】
1.一种可调谐高消光比金属光栅偏振器,其特征在于,包括具有相同结构参数的上下两层独立正对的金属光栅偏振器,可伸缩材料固定在上下两层金属光栅偏振器之间,并上下两金属光栅面保持平行,不同驱动电压驱动可伸缩材料,对应不同可伸缩材料长度,两金属光栅偏振器之间的距离为中间可伸缩材料的长度。2.根据权利要求I所述可调谐高消光...
【专利技术属性】
技术研发人员:凌进中,张磊,裴梓任,钱林勇,王中飞,韩姗,王琦,黄元申,张大伟,庄松林,
申请(专利权)人:上海理工大学,
类型:发明
国别省市:
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