一种产生法诺共振现象的金属-介质耦合谐振腔制造技术

本发明专利技术公开了一种产生法诺共振现象的金属-介质耦合谐振腔。本发明专利技术采用在MIM波导中的分支谐振腔和两个挡板的耦合谐振腔，不同的谐振腔互相耦合，产生陡的非对称的响应谱线型，得到法诺共振现象。在这种透过谱中，透过率能够迅速地从非对称的光谱的波谷上升至波峰。从而，在得到相同的开关对比度的情况下，所需的波长偏移或间隔比单一的谐振腔内产生的对称的类洛伦兹线型的谱宽小得多，从而有利于降低表面等离激元调制器的泵浦能量的阈值，或增加表面等离激元波分复用器的波长分辨率及生物传感器的灵敏度。因此本发明专利技术的金属-介质耦合谐振腔在表面等离激元调制器、分束器、波分复用器以及传感器等领域均有非常重要的应用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及纳米光子学领域，具体涉及一种产生法诺共振现象的金属-介质耦合谐振腔。
技术介绍
表面等离激元(Surface Plasmon Polaritons) SPPs是目前纳米光子学研究中的 热点。表面等离激元是一种存在于金属与介质界面处的光波与金属内自由电子耦合的集体振荡，它是一种特殊的界面束缚模式的电磁场，可以通过求解在金属-介质界面的边界条件下的麦克斯韦方程组而得到。SPPs最大的特点是可以把光场局域在金属与介质界面处亚波长的尺寸内，可突破传统光学的衍射极限，同时还拥有局域场增强效应。因此，近年来SPPs得到了研究者的广泛关注。目前，由于表面等离激元波导能够突破光的衍射极限而引起了极大地关注，并被认为是在亚波长结构中最有希望的替代者。在多种多样的表面等离激元波导中，在金属-介质-金属MIM波导中的表面等离激元SPP模式，能够极大地突破传统的衍射极限，并具有比较长的传播距离、小的弯曲损耗和样品加工的简易性。因此，MIM波导对实现高集成光子学回路具有很重要的应用前景。基于MIM波导，人们设计并实现了很多紧凑的表面等离激元光子器件，例如滤波器、环形谐振腔、分束器和波分复用器。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种金属？介质耦合谐振腔，其特征在于，所述耦合谐振腔包括：金属？介质？金属MIM波导、以及在MIM波导内的分支谐振腔（4）和两个挡板（5）；其中，所述MIM波导为三层平板结构，第一层（1）和第三层（3）为金属材料，二者之间为介质层（2）；所述分支谐振腔（4）从侧面耦合在金属？介质？金属MIM波导的介质层（2）上；所述两个挡板（5）垂直设置在介质层（2）内，并分别位于所述分支谐振腔（4）的两侧。

【技术特征摘要】
1.一种金属-介质耦合谐振腔，其特征在于，所述耦合谐振腔包括金属-介质-金属MIM波导、以及在MIM波导内的分支谐振腔(4)和两个挡板(5);其中，所述MIM波导为三层平板结构，第一层(I)和第三层(3)为金属材料，二者之间为介质层(2);所述分支谐振腔(4)从侧面耦合在金属-介质-金属MM波导的介质层(2)上；所述两个挡板(5)垂直设置在介质层(2)内，并分别位于所述分支谐振腔(4)的两侧。2.如权利要求I所述的耦合谐振腔，其特征在于，所述MM波导的第一层(I)和第三层(3)采用金或银等。3.如权利要求I...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈建军，李智，张茹，肖井华，
申请(专利权)人：北京邮电大学，
类型：发明
国别省市：