真空检漏系统的线性能力测试方法技术方案

技术编号:8321725 阅读:252 留言:0更新日期:2013-02-13 21:10
本发明专利技术公开了真空检漏系统的线性能力测试方法,包括以下步骤:1)将真空检漏系统调整至检漏工作状态并选择若干在计量有效期内的真空标准漏孔;2)按真空检漏法的检漏过程,分别针对各个真空标准漏孔的漏率进行测试,并实时记录相对应的真空检漏系统的漏率反应值;3)数据处理及评价。本发明专利技术异常的方便,资源需求少,可以现场对真空检漏系统的线性能力进行评估,且不需要额外的工装及功耗品,成本低廉。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于检漏
,具体来说,涉及一种真空检漏系统线性能力的测试方法,可以应用于真空检漏系统线性能力的评定。
技术介绍
真空检漏法是一种比对法,因而真空检漏系统的线性能力则在很大程度上制约着该种检漏方法测试结果的可靠性。现阶段国内尚没有对真空检漏系统的线性能力进行测试的方法,从而导致不能评价真空检漏系统的线性能力。因此,本领域迫切需要一种能对真空检漏系统的线性能力进行评估的方法,以提高真空检漏法测试结果的可靠性。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种真空检漏系统线性能力的测试方法,以便提高真空检漏法测试结果的可靠性。本专利技术所提供的具体方案如下本专利技术的,包括以下步骤I)试验准备a.将真空检漏系统调整至检漏工作状态;b.选择若干在计量有效期内的真空标准漏孔,且这些漏孔应覆盖工程中需要的量程范围,建议真空标准漏孔的数量在6个以上,优选10个以上。2)试验测试按真空检漏法的检漏过程,分别针对各个真空标准漏孔的漏率进行测试,并实时记录相对应的真空检漏系统的漏率反应值。3)数据处理及评价a.处理真空标准漏孔的标称值和与之对应的检漏系统的漏率反应值,并做y = kx+b形式的线性拟合,其中坐标轴采用对数坐标;b.根据线性拟合的结果及决定系数R的数值,对该真空检漏系统的线性能力进行评价,即若决定系数R大于等于O. 90,则确定该真空检漏系统的线性能力良好。本专利技术技术方案的特点包括I.本专利技术异常的方便,资源需求少,可以现场对真空检漏系统的线性能力进行评估。本专利技术不需要额外的工装及功耗品,因此成本低廉。附图说明图I是真空检漏系统检漏时的不意其中,I-真空标准漏孔,2-真空室,3-放气阀,4-分子泵,5-机械泵,6_氦质谱检漏仪。3图2是某真空检漏系统线性能力测试的结果。横坐标I为真空检漏系统的漏率反应值,纵坐标Q1为真空标准漏孔的标称值。具体实施例方式以下介绍的是作为本专利技术所述内容的具体实施方式,下面通过具体实施方式对本专利技术的所述内容作进一步的阐明。当然,描述下列具体实施方式只为示例本专利技术的不同方面的内容,而不应理解为限制本专利技术范围。作为示例,本专利技术采用了如下一种具体的真空检漏系统,如图I所示,该真空检漏系统由真空室2,放气阀3,分子泵4,机械泵5,氦质谱检漏仪6以及其间的连接管路组成。该真空检漏系统的特点是氦质谱检漏仪6接在分子泵4的前级。本专利技术的测试过程为开启真空检漏系统,待真空室2中的真空度优于·I. 3 X 10 时,将第一个真空标准漏孔I接在真空室2上,此时记录相对应的真空检漏系统的漏率反应值(其值由真空检漏系统中的氦质谱检漏仪6给出),卸下第一个真空标准漏孔,换第二个真空标准漏孔,同样能得到第二个真空检漏系统的漏率反应值,以此类推,直至完成所有的真空标准漏孔。本专利技术的,具体实施步骤如下I)试验准备a.将真空检漏系统调整至检漏工作状态;b.选择若干在计量有效期内的真空标准漏孔,且这些漏孔应覆盖工程中需要的量程范围,建议真空标准漏孔的数量在6个以上,优选10个以上。2)试验测试按真空检漏法的检漏过程,分别针对各个真空标准漏孔的漏率进行测试,并实时记录相对应的真空检漏系统的漏率反应值。3)数据处理及评价a.处理真空标准漏孔的标称值和与之对应的真空检漏系统的漏率反应值,并做y=kx+b形式的线性拟合;b.由于拟合图形的坐标轴数值跨越几个数量级,因此,建议采用对数坐标系;c.根据线性拟合的结果及拟合质量的评价参数(决定系数R),对该真空检漏系统的线性能力进行评价;d.若决定系数R > O. 90,则可以认为该真空检漏系统的线性能力良好。如对某真空检漏系统的线性能力进行测试,所测得的数据如表I所示。表I测试某真空检漏系统线性能力的试验数据本文档来自技高网...

【技术保护点】
真空检漏系统的线性能力测试方法,包括以下步骤:1)试验准备:a.将真空检漏系统调整至检漏工作状态;b.选择若干在计量有效期内的真空标准漏孔,且这些漏孔应覆盖工程中需要的量程范围,真空标准漏孔的数量在6个以上;2)试验测试:按真空检漏法的检漏过程,分别针对各个真空标准漏孔的漏率进行测试,并实时记录相对应的真空检漏系统的漏率反应值;3)数据处理及评价:a.处理真空标准漏孔的标称值和与之对应的检漏系统的漏率反应值,并做y=kx+b形式的线性拟合,其中坐标轴采用对数坐标;b.根据线性拟合的结果及决定系数R的数值,对该真空检漏系统的线性能力进行评价,即若决定系数R大于等于0.90,则确定该真空检漏系统的线性能力良好。

【技术特征摘要】
1.真空检漏系统的线性能力测试方法,包括以下步骤1)试验准备a.将真空检漏系统调整至检漏工作状态;b.选择若干在计量有效期内的真空标准漏孔,且这些漏孔应覆盖工程中需要的量程范围,真空标准漏孔的数量在6个以上;2)试验测试按真空检漏法的检漏过程,分别针对各个真空标准漏孔的漏率进行测试,并实时记录相对应的真空检漏系统的漏率反应值;3)数据处理及评价a.处...

【专利技术属性】
技术研发人员:王勇孙立臣闫荣鑫孙继鹏汪力孙立志郭海涛
申请(专利权)人:北京卫星环境工程研究所
类型:发明
国别省市:

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