一种测试棒及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种测试棒，用于测量硅晶体熔化和生长速率，其特征在于，所述测试棒各组分及质量百分比为：氮化硅0%~100%，碳化硅0%~100%，硅粉0%~25％，烧结助剂0%~8％，所述氮化硅的纯度为90%~99.95%，所述碳化硅的纯度为90%~99.95%，所述硅粉的纯度为90%~99.9999999%。本发明专利技术还公开了该测试棒的制备方法。采用本发明专利技术的测试棒，克服了现有技术石英棒易变形，易与硅液粘连，易被硅液腐蚀的缺点，提高了抗腐蚀能力和测试精度，延长了测试棒的使用寿命，降低了因测试棒断裂而影响硅晶体品质，造成重大经济损失的概率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及硅料熔化或硅晶体生长的测量领域，尤其涉及。
技术介绍
硅晶体材料广泛应用在光伏太阳能、液晶显示和半导体领域。目前多采用多晶硅铸锭技术来生长硅晶体，在此生长过程中，需定时监控多晶硅的长晶速率。同吋，采用定向凝固法生长硅单晶的过程中，需严格控制硅料的熔化速率，因而也需测量硅料的熔化速率。目前技术之ー是，将石英棒插入到内置硅液的容器中，与固液界面接触，记录该时刻测试棒的高度。隔单位时间后再次測量，并记录此时刻测试棒的高度。通过计算二者高度差来获得单位时间内硅料的生长速率或熔化速率。此外，这种技术还适用于判定硅料是否全熔，全熔后硅熔液液面高度等情形。但是，采用石英棒测试硅液高度，具有多个缺点第一，石英棒在高温下易弯曲或拉伸变形，影响测试精度。多晶硅铸锭炉运行最高温度为1560°C ±15°C，石英棒在该温度范围内极易出现变形等现象，导致测量误差大，影响数据采集。另外，底部铺设籽晶生长硅锭的方法中，石英棒的变形会导致籽晶的熔化厚度测试不精确，影响硅晶体质量。第二，使用寿命短，基本为一次性使用。如若石英棒強行使用多次，易导致石英棒断裂，进而导致硅锭粘结在容器上甚至开裂，从而造成较本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试棒，用于硅料熔化或硅晶体生长的测量领域，其特征在于，所述测试棒各组分及质量百分比为：氮化硅0%~100%，碳化硅0%~100%，硅粉0%~25%，烧结助剂0%~8%，所述氮化硅的纯度为90%~99.95%，所述碳化硅的纯度为90%~99.95%，所述硅粉的纯度为90%~99.9999999%。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张涛，胡动力，钟德京，吕东，
申请(专利权)人：江西赛维LDK太阳能高科技有限公司，
类型：发明
国别省市：