【技术实现步骤摘要】
·本专利技术涉及制造能够防止印刷辊接触印刷版的底面的印刷版的方法。相关技术近来，作为具有减轻的重量和减小的体积以克服阴极射线管(CRT)的缺点的装置，各种平板显示器(FPD)正在受到关注。Fro包括例如液晶显示器(LCD)、场发射显示器(FED)、等离子体显示面板(PDP)、电致发光(EL)显示器等。这种Fro包括通过掩模工艺形成的多层薄膜，该掩模工艺包括沉积(涂覆)工艺、曝光工艺、显影工艺、蚀刻工艺等。但是，该掩模工艺存在制造工艺复杂、从而增加了制造成本的问题。所以，近来正在进行通过使用印刷辊的印刷工艺形成薄膜的研究。印刷工艺是指以这样的方式形成期望的薄膜的工艺，即将印刷液涂覆至印刷辊的覆盖层(blanket)，使用具有凹槽图案和凸起图案的印刷版使该印刷辊形成有印刷图案，然后将该印刷图案转移至基板上。此处，如图I所示，当印刷版10的凹槽图案12的深度比按压印刷辊20的深度浅时，印刷辊20就接触印刷版10的凹槽图案12的底面(见“A”)。结果，涂覆至印刷辊20上的印刷液22被转移至印刷版10的凹槽图案12的底面，由此而损失。当这种损失的印刷液被转移至基板上时...
【技术保护点】
一种制造印刷版的方法，包括：在基板上形成具有多层结构的掩模薄膜图案和光刻胶图案；形成抗性强化诱导层以覆盖所述光刻胶图案，从而使所述光刻胶图案转化为抗性被强化的光刻胶图案；以及通过使用所述抗性被强化的光刻胶图案以及所述具有多层结构的掩模薄膜图案作为掩模蚀刻所述基板，形成彼此具有不同深度的凹槽图案。
【技术特征摘要】
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