【技术实现步骤摘要】
本技术涉及到一种用于超精密机床的工件轴系统，具有很高的回转精度，可实现高转速，同时也可实现很高的位置控制精度。
技术介绍
面向微结构的超精密加工工艺与装备的研究是现代高技术产品制造的核心技术之一，在许多高新
有着越来越广泛的应用。其中工件轴系统是超精密加工装备最为关键的组成部分之一，实现工件轴系统的高回转精度，高速度以及高位置反馈精度，对超精加工有重要意义。传统的工件轴系统采用皮带轮驱动，电机编码器作为速度反馈装置，而位置反馈也是通过同步带连接外置编码器实现，这种结构引入了更多的机械结构，对实现高速度和高精度都有一定影响。因此，应用新技术，开发出更为合理可靠的超精密工件轴系统，有极为重要的意义。
技术实现思路
本技术目的是为微结构超精密加工装备开发一种内装电机驱动、双编码器反馈超精密工件轴系统，具有高精度高速度以及高位置反馈分辨率。具体方案是，一种内装电机驱动、双编码器反馈超精密工件轴系统，内装电机安装在超精密工件轴后轴承外侧，在工件轴尾端，靠近内装电机的位置安装高精度位置反馈编码器，工件轴尾端，远离内装电机位置安装速度反馈编码器，两编码器反馈信号同时接入控制系统...
【技术保护点】
一种内装电机驱动、双编码器反馈超精密工件轴系统，其特征是：内装电机安装在超精密工件轴后轴承外侧，在工件轴尾端，靠近内装电机的位置安装高精度位置反馈编码器，工件轴尾端，远离内装电机位置安装速度反馈编码器，两编码器反馈信号同时接入控制系统，切换使用。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朱生根，罗英俊，文平阶，刘春雨，于建华，
申请(专利权)人：北京工研精机股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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