一种密闭腔体中的样品台制造技术

本发明专利技术提供了一种样品台，置于密闭腔体中，包括：运动模块，其第一表面和第二表面上沿第一方向对应设置有第一导轨，第三表面和第四表面上沿第二方向对应设置有第二导轨，第一方向与第二方向正交，第一导轨与第二导轨之间有间隔；第一导向模块，具有沿第一方向设置的第三导轨，并与沿第二方向设置的第一传动杆的一端连接，所述第三导轨与第一导轨相配合；第二导向模块，具有沿第二方向设置的第四导轨，并与沿第一方向设置的第二传动杆的一端连接，所述第四导轨与第二导轨相配合；所述导轨为交叉滚柱导轨，所述第一传动杆以及第二传动杆的另一端置于密闭腔体外。该样品台为机械配合设计，保证密闭腔体的真空度。

【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及机械传动领域，尤其涉及一种高真空或超高真空的密闭腔体中的样品台。
技术介绍
现代分析仪器越来越多的需要用到高真空或超高真空的工作环境，在高真空或超高真空的密闭腔体中，样品台承载样品进行定位后，在真空环境中对试样进行加工或分析等操作。典型的，具有真空环境的仪器如二次离子探针质谱仪，其对样品的微区分析的要求是在超闻真空环境中进行的，闻精密的样品台承载样品在真空腔体中在二维空间中移 动，将待分析样品的位置进行精确的定位，同时，还在二次离子引出的方向上移动，以精确聚焦一次离子束轰击样品表面的束斑斑点，以对样品进行轰击并对溅射出来的二次离子进行分析，为了保证分析结果的精确性，在整个过程中，对真空环境的纯净度有很高的要求。由于有的质谱仪器的真空腔体中的样品台为真空步进电机驱动的样品台，该样品台的机械运动部分及电机驱动部分都置于真空腔体中，通过电真空插头将电源线和控制线连接到驱动电机。然而，步进电机对润滑油的要求较高，并且润滑油会对真空环境造成一定的污染，而且也引入了其他的电气材料，在电机工作时由于电气材料放气及电机发热会造成真空度的波动而影响分析结果，而随着质谱仪器的不断发展，对真空度的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种样品台，置于密闭腔体中，其特征在于，包括：运动模块，所述运动模块包括相对设置的第一表面和第二表面，以及相对设置的第三表面和第四表面，第一表面和第二表面上沿第一方向对应设置有第一导轨，第三表面和第四表面上沿第二方向对应设置有第二导轨，第一方向与第二方向正交，第一导轨与第二导轨之间有间隔；第一导向模块，具有沿第一方向设置的第三导轨，并与沿第二方向设置的第一传动杆的一端连接，所述第三导轨与第一导轨相配合；第二导向模块，具有沿第二方向设置的第四导轨，并与沿第一方向设置的第二传动杆的一端连接，所述第四导轨与第二导轨相配合；其中，所述导轨为交叉滚柱导轨，所述第一传动杆以及第二传动杆的另一端置于密闭腔体...

【技术特征摘要】
1.一种样品台，置于密闭腔体中，其特征在于，包括 运动模块，所述运动模块包括相对设置的第一表面和第二表面，以及相对设置的第三表面和第四表面，第一表面和第二表面上沿第一方向对应设置有第一导轨，第三表面和第四表面上沿第二方向对应设置有第二导轨，第一方向与第二方向正交，第一导轨与第二导轨之间有间隔； 第一导向模块，具有沿第一方向设置的第三导轨，并与沿第二方向设置的第一传动杆的一端连接，所述第三导轨与第一导轨相配合； 第二导向模块，具有沿第二方向设置的第四导轨，并与沿第一方向设置的第二传动杆的一端连接，所述第四导轨与第二导轨相配合； 其中，所述导轨为交叉滚柱导轨，所述第一传动杆以及第二传动杆的另一端置于密闭腔体外，并分别连接位于密闭腔体外的驱动机构。2.根据权利要求I所述的样品台，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨之青，刘敦一，
申请(专利权)人：中国地质科学院地质研究所，
类型：发明
国别省市：