玻璃加工方法技术

提供使用了蚀刻耐性高、且分辨率及剥离性优异的感光性树脂组合物的玻璃加工方法。本发明专利技术的玻璃加工方法包括以下工序：在玻璃基板上形成含有具有酚性羟基的碱可溶性树脂的感光性树脂组合物的涂布膜的涂布膜形成工序；对上述涂布膜进行选择性曝光的曝光工序；对曝光后的上述涂布膜进行显影而形成树脂图案的显影工序；以上述树脂图案作为掩模对上述玻璃基板进行蚀刻的蚀刻工序；以及将上述树脂图案剥离的剥离工序。

【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及以感光性树脂组合物图案化而得到的树脂图案作为掩模而对玻璃基板进行蚀刻加工的玻璃加工方法。
技术介绍
触摸面板通过在介由间隔物相对的玻璃基板和薄膜材料的相对面上分别将ITO等透明导电物质成膜而构成。在该触摸面板上，薄膜材料的接触位置作为坐标信息被检测。此外，最近，也提出触摸面板一体型的液晶显示器。其是构成液晶显示器的2片玻璃基板中的一片兼作触摸面板的玻璃基板的显示器，在实现薄型化及轻量化的方面非常有效。 以往，虽然作为这样的玻璃基板的加工方法一般为物理方法，但是存在加工时容易出现裂纹、强度降低或成品率恶化的问题。因此，近年，提出以将感光性树脂组合物图案化而得到的树脂图案作为掩模而对玻璃基板进行蚀刻加工的化学方法(例如参照专利文献1、2)。根据这样的化学方法，由于在加工时不会受到物理性负荷，所以不易出现裂纹。此外，与物理方法不同，也可以对玻璃基板进行麦克风或扬声器用的开孔加工。现有技术文献专利文献专利文献I :日本特开2008-076768号公报专利文献2 :日本特开2010-072518号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题不过，最近作为这样的玻璃基板大多使用强化玻璃。伴随于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃加工方法，其包括以下工序：在玻璃基板上形成含有具有酚性羟基的碱可溶性树脂的感光性树脂组合物的涂布膜的涂布膜形成工序；对所述涂布膜进行选择性曝光的曝光工序；对曝光后的所述涂布膜进行显影而形成树脂图案的显影工序；以所述树脂图案作为掩模对所述玻璃基板进行蚀刻的蚀刻工序；以及将所述树脂图案剥离的剥离工序。

【技术特征摘要】
2011.07.28 JP 2011-1659861.一种玻璃加工方法，其包括以下工序 在玻璃基板上形成含有具有酚性羟基的碱可溶性树脂的感光性树脂组合物的涂布膜的涂布膜形成工序； 对所述涂布膜进行选择性曝光的曝光工序； 对曝光后的所述涂布膜进行显影而形成树脂图案的显影工序； 以所述树脂图案作为掩模对所述玻璃基板进行蚀刻的蚀刻工序；以及 将所述树脂图案剥离的剥离工序。2.根据权利要求I所述的玻璃加工方法，其中，在所述蚀刻工序中，使用包含氟酸及硫酸的25 60°C的蚀刻液对所...

【专利技术属性】
技术研发人员：植松照博，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：