下载玻璃加工方法的技术资料

文档序号:8270882

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提供使用了蚀刻耐性高、且分辨率及剥离性优异的感光性树脂组合物的玻璃加工方法。本发明的玻璃加工方法包括以下工序:在玻璃基板上形成含有具有酚性羟基的碱可溶性树脂的感光性树脂组合物的涂布膜的涂布膜形成工序;对上述涂布膜进行选择性曝光的曝光工序;对...
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