滤光器制造技术

提供一种滤光器及具备该滤光器的光学模块，即使在使反光镜间的间隙可变的情况下，也能够取出分光特性优异的光，而且能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。本发明专利技术的滤光器(1)特征在于具有第一基板(2)、形成于所述第一基板(2)的第一反光镜(4A)、与所述第一基板(2)接合或粘结且形成有凹部(5)的第二基板(3)、形成于所述第二基板(3)的所述凹部(5)且形成在与所述第一反光镜(4A)对置的位置的第二反光镜(4B)、形成于所述第一基板(2)且形成在所述第一反光镜(4A)的周围的第一电极(6A)和形成于所述第二基板(3)且形成在与所述第一电极(6A)对置的位置的第二电极(6B)，所述第一基板(2)具有位于所述第一反光镜(4A)上的第一部分、位于所述第一部分的周围的第二部分(9)、位于所述第二部分的周围的第三部分和位于所述第三部分的周围的第四部分(8)，所述第二部分(9)的厚度和所述第四部分(8)的厚度比所述第一部分的厚度小。

【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种滤光器及具备该滤光器的光学模块。
技术介绍
以往，作为从入射光中选择目的波长的光来出射的滤光器，公知一种气隙(airgap)型且静电驱动型的滤光器，在该滤光器中，对置配置一对基板，分别在这些基板的对置的面上设置反光镜，分别在这些反光镜的周围设置电极，并且在一方反光镜的周围设置控光(diaphragm)部，通过这些电极间的静电力使控光部变位从而使这些反光镜间的间隙 (gap)(气隙)变化，由此取出希望波长的光(例如，参照专利文献I、专利文献2)。在这样的滤光器中，在制造时需要在从不到一微米到数微米这样非常狭窄的范围内控制一对反光镜间的间隙，而且，将这些反光镜间的间隙进行精度良好地维持并且控制为希望的间隙量是重要的。在这样的滤光器中，通过使反光镜间的间隙变化，能够选择性地取出与该反光镜间的间隙相对应的波长的光。专利文献I :特开2003-57438号公报专利文献2 :特开2008-116669号公报但是，在以往的气隙型且静电驱动型的滤光器中，若反光镜间的平行度或反光镜的平坦度降低，则所取出的光的分光特性降低，所以平行且平坦地保持一对反光镜在维持反光镜的特性上是最重要的。但是，在为了从该滤光器选择性地取出希望波长的光，而通过气隙静电驱动使反光镜间的间隙可变时，具有如下的问题点，即控光部的挠曲传播到可动侧的反光镜，反光镜弯曲而平坦度降低，因此，取出的光的最大透过率降低，并且其半通带宽度(halfbandwidth)也增大,成为呈现所谓的宽(broad)的波形,其结果,取出的光的分光特性大幅地降低。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题而进行的，其目的是提供一种滤光器及具备该滤光器的光学模块，即使在为了选择性地取出希望波长的光而使反光镜间的间隙可变的情况下，也能够抑制伴随该可变而发生的挠曲传播到可动侧的反光镜，其结果，能够取出最大透过率高且半通带宽度窄、分光特性优异的光，而且能够不使取出的光的分光特性降低地良好地维持。为了解决上述课题，本专利技术采用了以下的滤光器及具备该滤光器的光学模块。即，本专利技术的滤光器,特征在于具有第一基板；第一反光镜，其形成于所述第一基板；第二基板，其与所述第一基板接合或粘结，形成有凹部；第二反光镜，其形成于所述第二基板的所述凹部，并且形成在与所述第一反光镜对置的位置；第一电极，其形成于所述第一基板，并且形成在所述第一反光镜的周围；和第二电极，其形成于所述第二基板，并且形成在与所述第一电极对置的位置；所述第一基板具有位于所述第一反光镜上的第一部分、位于所述第一部分的周围的第二部分、位于所述第二部分的周围的第三部分和位于所述第三部分的周围的第四部分，所述第二部分的厚度和所述第四部分的厚度比所述第一部分的厚度小。 在本专利技术的滤光器中，第二部分的厚度和第四部分的厚度比第一部分的厚度小。由此，即使在为了从该滤光器选择性地取出希望波长的光而使这些反光镜间的间隙可变的情况下，在第四部分产生的挠曲通过第二部分被缓和，使向可动侧的反光镜传播的挠曲量减少。由此，起因于该挠曲的可动侧的反光镜的弯曲也变小，该反光镜的平坦度的降低也变小，从这些反光镜取出的光的最大透过率变高且半通带宽度变窄。因此，能够取出分光特性优异的光，并能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。根据以上，能够提供一种滤光器，其能够取出分光特性优异的光，并能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。本专利技术的滤光器，特征在于，所述第二部分的厚度在所述第四部分的厚度以下。在该滤光器中，通过使第二部分的厚度为第四部分的厚度以下，在第四部分产生的挠曲通过第二部分被更加有效地缓和，向可动侧的反光镜传播的挠曲量大幅减少。由此，起因于该挠曲的可动侧的反光镜的弯曲变得极小，该反光镜的平坦度的降低也变得极小，从这些反光镜取出的光的最大透过率变得极高且半通带宽度变得极窄。因此，能够取出分光特性优异的光，并能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。本专利技术的滤光器，其特征在于，所述第二部分和所述第四部分通过选择去除所述第一基板而形成。在该滤光器中，由于通过选择去除第一基板从而形成第二部分和第四部分，所以第二部分和第四部分各自的加工精度以及它们之间的加工精度提高，从这些反光镜取出的光的分光特性变得极其优异。本专利技术的滤光器，其特征在于，所述第二部分和所述第四部分一体化形成。在该滤光器中，通过使第二部分和第四部分一体化，对由第二部分和第四部分分别进行了缓和的产生于第四部分的挠曲，通过一体化的第二部分和第四部分一起进行缓和，从而能够更有效的进行缓和。本专利技术的滤光器，其特征在于，所述第一基板和所述第二基板具有透光性。在该滤光器中，通过使第一基板和第二基板具有透光性，基板的光的透过率提高，取出的光的强度也变高。因此，光的取出效率提高。本专利技术的滤光器,其特征在于,具有第一基板；第一反光镜，其设置在所述第一基板上；第二基板，其与所述第一基板接合或粘结，形成有凹部；第二反光镜，其形成于所述第二基板的所述凹部，并且形成在与所述第一反光镜对置的位置；第一电极，其形成于所述第一基板，并且形成在所述第一反光镜的周围；和第二电极，其形成于所述第二基板，并且形成在与所述第一电极对置的位置；所述第一基板具备第一铰链部和在所述第一铰链部的内周侧形成的第二铰链部。在本专利技术的滤光器中，通过形成在第一铰链部的内周侧形成的第二铰链部，即使在为了从该滤光器选择性地取出希望波长的光而使这些反光镜间的间隙可变的情况下，在第一铰链部产生的挠曲通过第二铰链部被缓和，使向可动侧的反光镜传播的挠曲量减少。由此，起因于该挠曲的可动侧的反光镜的弯曲也变小，该反光镜的平坦度的降低也变小，从这些反光镜取出的光的最大透过率变高且半通带宽度变窄。因此，能够取出分光特性优异的光，并能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。根据以上，能够提供一种滤光器，其能够取出分光特性优异的光，并能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。本专利技术的滤光器，其特征在于，所述第二铰链部的梁宽在所述第一铰链部的梁宽以下。 在该滤光器中，通过使第二铰链部的梁宽为第一铰链部的梁宽以下，在第一铰链部产生的挠曲通过第二铰链部被更加有效地缓和，向可动侧的反光镜传播的挠曲量大幅减少。由此，起因于该挠曲的可动侧的反光镜的弯曲变得极小，该反光镜的平坦度的降低也变得极小，从这些反光镜取出的光的最大透过率变得极高且半通带宽度变得极窄。因此，能够取出分光特性优异的光，并能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。本专利技术的滤光器，其特征在于，所述第一基板和所述第二基板的任意一个是半导体材料。在该滤光器中，通过使第一基板和第二基板的任意一个为半导体材料，作为入射光，能够采用可透过该半导体材料的波长的电磁波，例如近红外线。因此，入射光的波长的幅度增大。本专利技术的光学模块，其特征在于，具备本专利技术的滤光器而构成。在该光学模块中，通过具备本专利技术的滤光器，能够取出最大透过率高且半通带宽度窄、分光特性优异的光，而且，能够提供一种可以不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持的光学模块。附图说明图I是表不本专利技术第一实施方式的滤光器的俯视图。图2是表不本专利技术第一实施方式的滤光器的剖面图。图3是表不本专利技术第一实施方式的滤光器中的没有施加电压时的波长与透过率本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种滤光器，其特征在于，具有：第一基板；第一反光镜，其形成于所述第一基板；第二基板，其与所述第一基板接合；第二反光镜，其形成于所述第二基板的与所述第一反光镜对置的位置；第一电极，其形成于所述第一基板，在从厚度方向观察所述第一基板以及所述第二基板的俯视观察下形成于所述第一反光镜的周围；和第二电极，其形成于所述第二基板，并形成于与所述第一电极对置的位置；所述第一基板具有：第一铰链部；在俯视观察下形成于所述第一铰链部和所述第一反光镜之间的第二铰链部，所述第二铰链部的梁宽比所述第一铰链部的梁宽窄。

【技术特征摘要】
2008.12.09 JP 2008-3133061.一种滤光器,其特征在于,具有 第一基板； 第一反光镜，其形成于所述第一基板； 第二基板，其与所述第一基板接合； 第二反光镜，其形成于所述第二基板的与所述第一反光镜对置的位置； 第一电极，其形成于所述第一基板，在从厚度方向观察所述第一基板以及所述第二基板的俯视观察下形成于所述第一反光镜的周围；和 第二电极，其形成于所述第二基板，并形成于与所述第一电极对置的位置； 所述第一基板具有第一铰链部；在俯视观察下形成于所述第一铰链部和所述第一反光镜之间的第二铰链部， 所述第二铰链部的梁宽比所述第一铰链部的梁宽窄。...

【专利技术属性】
技术研发人员：花村雄基，舟川刚夫，船坂司，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：