滤光器制造技术

提供一种滤光器及具备该滤光器的光学模块，即使在使反光镜间的间隙可变的情况下，也能够取出分光特性优异的光，而且能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。本发明专利技术的滤光器(1)特征在于具有第一基板(2)、形成于所述第一基板(2)的第一反光镜(4A)、与所述第一基板(2)接合或粘结且形成有凹部(5)的第二基板(3)、形成于所述第二基板(3)的所述凹部(5)且形成在与所述第一反光镜(4A)对置的位置的第二反光镜(4B)、形成于所述第一基板(2)且形成在所述第一反光镜(4A)的周围的第一电极(6A)和形成于所述第二基板(3)且形成在与所述第一电极(6A)对置的位置的第二电极(6B)，所述第一基板(2)具有位于所述第一反光镜(4A)上的第一部分、位于所述第一部分的周围的第二部分(9)、位于所述第二部分的周围的第三部分和位于所述第三部分的周围的第四部分(8)，所述第二部分(9)的厚度和所述第四部分(8)的厚度比所述第一部分的厚度小。

【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种滤光器及具备该滤光器的光学模块。
技术介绍
以往，作为从入射光中选择目的波长的光来出射的滤光器，公知一种气隙(airgap)型且静电驱动型的滤光器，在该滤光器中，对置配置一对基板，分别在这些基板的对置的面上设置反光镜，分别在这些反光镜的周围设置电极，并且在一方反光镜的周围设置控光(diaphragm)部，通过这些电极间的静电力使控光部变位从而使这些反光镜间的间隙 (gap)(气隙)变化，由此取出希望波长的光(例如，参照专利文献I、专利文献2)。在这样的滤光器中，在制造时需要在从不到一微米到数微米这样非常狭窄的范围内控制一对反光镜间的间隙，而且，将这些反光镜间的间隙进行精度良好地维持并且控制为希望的间隙量是重要的。在这样的滤光器中，通过使反光镜间的间隙变化，能够选择性地取出与该反光镜间的间隙相对应的波长的光。专利文献I :特开2003-57438号公报专利文献2 :特开2008-116669号公报但是，在以往的气隙型且静电驱动型的滤光器中，若反光镜间的平行度或反光镜的平坦度降低，则所取出的光的分光特性降低，所以平行且平坦地保持一对反光镜在维持反光镜的特性上是最重要的。但是，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种滤光器，其特征在于，具有：第一基板；第一反光镜，其形成于所述第一基板；第二基板，其与所述第一基板接合；第二反光镜，其形成于所述第二基板的与所述第一反光镜对置的位置；第一电极，其形成于所述第一基板，在从厚度方向观察所述第一基板以及所述第二基板的俯视观察下形成于所述第一反光镜的周围；和第二电极，其形成于所述第二基板，并形成于与所述第一电极对置的位置；所述第一基板具有：第一铰链部；在俯视观察下形成于所述第一铰链部和所述第一反光镜之间的第二铰链部，所述第二铰链部的梁宽比所述第一铰链部的梁宽窄。

【技术特征摘要】
2008.12.09 JP 2008-3133061.一种滤光器,其特征在于,具有 第一基板； 第一反光镜，其形成于所述第一基板； 第二基板，其与所述第一基板接合； 第二反光镜，其形成于所述第二基板的与所述第一反光镜对置的位置； 第一电极，其形成于所述第一基板，在从厚度方向观察所述第一基板以及所述第二基板的俯视观察下形成于所述第一反光镜的周围；和 第二电极，其形成于所述第二基板，并形成于与所述第一电极对置的位置； 所述第一基板具有第一铰链部；在俯视观察下形成于所述第一铰链部和所述第一反光镜之间的第二铰链部， 所述第二铰链部的梁宽比所述第一铰链部的梁宽窄。...

【专利技术属性】
技术研发人员：花村雄基，舟川刚夫，船坂司，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：