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文档序号:8270786
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提供一种滤光器及具备该滤光器的光学模块,即使在使反光镜间的间隙可变的情况下,也能够取出分光特性优异的光,而且能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。本发明的滤光器(1)特征在于具有第一基板(2)、形成于所述第一基板(2)的第一反光镜...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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