平行度可调的微机电系统法布里珀罗腔波长可调谐滤波器技术方案

本发明专利技术是平行度可调的微机电系统法布里珀罗腔波长可调谐滤波器，微桥部的桥面作为法布里珀罗腔的上电极；光栅位于微桥部的桥面的中央处；基底为最下层；多个下电极，平行对称的分布在微桥部的下面，分别固定在两个绝缘层上面；两个绝缘层覆盖在基底上，将多个下电极与上电极之间的电绝缘；两个矩形孔位于微桥部的两边；前腔面位于光栅的区域所对应桥面的下表面；后腔面位于光栅下方的在两绝缘层之间的基底的上表面，用作法布里珀罗腔的后腔面；在多个下电极和上电极之间加入不同的电压并形成复杂的静电场，使法布里珀罗腔的可动腔面向下移动的过程中，调整可动腔面的形貌，用于调整法布里珀罗腔前腔面与后腔面之间的平行度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微光机电系统
，特别涉及一种适用于光纤通信系统的平行度可调的微机电系统法布里珀罗腔波长可调谐滤波器。
技术介绍
在波长可调滤波器领域，微机电系统(MEMS)波长可调滤波器具有体积小，能耗低、响应速度快、驱动电压低以及与集成电路兼容性好等优点，而在光纤通信系统中备受青睐。基于微机电系统技术制作的法布里珀罗腔(Fabry-PeiOt)滤波器是通过微机电驱动装置，在法布里珀罗腔的前、后腔面上加反偏电压，利用静电力或热应变的作用使腔长收缩或增长，从而持续调节滤波器的谐振波长。空气腔微机电系统法布里珀罗腔滤波器的调谐范围大，精度高而且驱动简单，是未来微滤波器的首选方案。微机电系统法布里珀罗腔可调谐滤波器正在朝着大阵列、小尺寸、高频率、大调谐范围，以及多自由度方向发展。这些方面是相互制约的，更小的单元尺寸带来的是更高的固有频率，更大的调谐范围以及更低的驱动电压。目前国际上研制的微机电系统法布里珀罗腔滤波器各具特色，但也各存一些局限，比如材料生长困难、工艺难度大、调谐电压较高等。实际工作中衡量法布里珀罗腔滤波器性能优良的指标，分别是精细常数、峰值透射率、反衬度。法布里珀罗腔前本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平行度可调的微机电系统法布里珀罗腔波长可调谐滤波器，其特征在于：包括：微桥部、光栅、基底、多个下电极、第一绝缘层、第二绝缘层、前腔面、后腔面、桥面和两个矩形孔，其中：微桥部，具有一桥面，桥面作为法布里珀罗腔的上电极；光栅，位于微桥部的桥面的中央处，并集成在一起；基底，作为最下层；多个下电极，平行对称的分布在微桥部的下面，分别固定在第一绝缘层和第二绝缘层上面；第一绝缘层和第二绝缘层，覆盖在基底之上；前腔面，位于光栅的区域所对应桥面的下表面，形成法布里珀罗腔可动腔面；后腔面，位于光栅正下方的在第一绝缘层和第二绝缘层之间的基底的上表面，用作法布里珀罗腔的后腔面；通过在多个下电极和上电极之间加入不...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：庄须叶，张建飞，姚军，邱传凯，周崇喜，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：