具有宽带反射特性的干涉式光学调制器制造技术

技术编号:8160913 阅读:162 留言:0更新日期:2013-01-07 19:12
本发明专利技术提供一种适合于在视频显示器中形成像素的光学装置800。所述光学装置800包含:第一层802,其具有第一折射率;在所述第一层802上的第二层804,所述第二层804具有小于所述第一折射率的第二折射率;及在所述第二层804上的第三层806,所述第三层806具有大于所述第二折射率的第三折射率;及第四层810,其为至少部分光学吸收性的,其中光学堆叠808与所述第四层810在所述装置处于第一状态下时彼此相距第一距离,且在所述装置处于第二状态下时彼此相距第二距离,所述第一距离不同于所述第二距离。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的领域涉及微机电系统(MEMS),且更明确地说,涉及包括MEMS的显示器。
技术介绍
微机电系统(MEMS)包含微机械元件、激活器和电子元件。可使用沉积、蚀刻和/或其它蚀刻掉衬底和/或已沉积材料层的部分或者添加层以形成电装置和机电装置的微加エエ艺来产生微机械元件。一种类型的MEMS装置称为干涉式调制器。如本文所使用,术语干涉式调制器或干渉式光调制器指的是ー种使用光学干渉原理选择性地吸收且/或反射光的装置。在某些实施例中,干涉式调制器可包括一对导电板,其中之一或两者可能整体或部分透明且/或具有反射性,且能够在施加适当电信号时进行相对运动。在特定实施例中, 一个板可包括沉积在衬底上的固定层,且另一个板可包括通过气隙与固定层分离的金属薄膜。如本文更详细描述,一个板相对于另一个板的位置可改变入射在干涉式调制器上的光的光学干渉。这些装置具有广范围的应用,且在此项技术中,利用且/或修改这些类型装置的特性使得其特征可被发掘用于改进现有产品和创建尚未开发的新产品,将是有益的。
技术实现思路
掲示本专利技术的许多示范性实施例。在一个实施例中,掲示ー种光学装置,所述光学装置包括光学堆叠,其包括第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学装置,其包括:光学堆叠,其包括:第一层,其具有第一折射率,在所述第一层上的第二层,所述第二层具有小于所述第一折射率的第二折射率;以及在所述第二层上的第三层,所述第三层具有大于所述第二折射率的第三折射率;第四层,其为至少部分光学吸收性的,其中所述光学堆叠与所述第四层在所述光学装置处于第一状态下时彼此相距第一距离,且在所述光学装置处于第二状态下时彼此相距第二距离,所述第一距离不同于所述第二距离,所述光学装置在所述第一状态下反射大体上白色的光。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:徐刚
申请(专利权)人:高通MEMS科技公司
类型:发明
国别省市:

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