【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学元件
，特别涉及一种在光学仪器装校过程中对光学元件进行位置调整的光学元件调节机构。
技术介绍
在光学仪器装校过程中经常需要对光学元件的位置沿空间X、Y、Z三个轴向进行调整，这样的调整通常是借助调节机构实现的。例如，轴向位移可以采用导轨机构完成，转角调整可以采用倾斜机构完成。如果需要对多个自由度进行调整，就需要对由这些调节机构组成的组合机构进行叠加调整。但是，在有些结构紧凑地方没有足够的空间放置这种组合机构。这时，就需要一种能够实现叠加调节的体积较小的机构。 此外，在有些光学仪器中，部分光学元件不仅需要调整方位，在测量过程中还需要连接电机，使光学元件进行旋转或移动。例如，在利用椭圆偏振法测量样品薄膜结构时，就需要对椭圆偏振仪中起偏器、检偏器和相位补偿器中其中一个仪器进行旋转。以旋转相位补偿器为例，在测量前需要调节相位补偿器的方位，以使其表面与电机旋转轴垂直，这时，就需要在相位补偿器座上安装一个二维调节机构，调节相位补偿器的方位，以保证其在转动时以电机旋转轴方向为轴。现有技术中有一种二维微调机构，在该机构中心设置有钢球，钢球的上、下分别设置有两块平行...
【技术保护点】
一种光学元件二维调节机构，包括光学元件座，所述光学元件座内具有容置空间，其特征在于，所述容置空间底部设有光学元件接触面，所述接触面呈球形，当光学元件在所述光学元件座内任意旋转时，所述光学元件的底面圆周始终与所述接触面相切。
【技术特征摘要】
1.一种光学元件二维调节机构，包括光学元件座，所述光学元件座内具有容置空间，其特征在于，所述容置空间底部设有光学元件接触面，所述接触面呈球形，当光学元件在所述光学元件座内任意旋转时，所述光学元件的底面圆周始终与所述接触面相切。2.根据权利要求I所述的二维调节机构，其特征在于，所述光学元件调节机构还包括固定件，所述固定件连接于所述光学元件座，所述固定件上穿设有用于使所述光学元件固定于所述容置空间内，并可对所述光学元件进行二维调节的调节螺钉，所述调节螺钉抵顶于所述光学兀件上表面。3.根据权利要求I所述的二维调节机构，其特征在于，所述光学元件的上表面经过所述球形接触面的球心。4.根据权利要求2所述的二维调节机构，其特征在于，所述固定件上设有第I螺孔，第II螺孔，第III螺孔，所述第I螺孔中穿设有第I调节螺钉，所述第II螺孔中穿设有第II调节螺钉，第III螺孔中穿设有第III调节螺钉，所述第I调节螺钉...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴文镜，张瑭，赵江艳，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，北京智朗芯光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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