一种压阻式加速度传感器零位补偿测试装置制造方法及图纸

技术编号:8270570 阅读:172 留言:0更新日期:2013-01-31 02:27
本发明专利技术涉及一种压阻式加速度传感器零位补偿测试装置,由输入模块INP、程控电压源PVS、回路开关SW、差分放大器DA、数据采集单元ADC、主控制器MCU、开关网络MUX1、开关网络MUX2、固定补偿单元R、可调补偿单元DPOT和显示单元DIS组成。本发明专利技术优点在于固定、可调两种补偿回路并用,相对于单路补偿可降低传感器补偿回路硬件配置的要求,同时准确快速得到被测传感器达到规定电平输出状态时的补偿条件。

【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及压阻式加速度传感器零位补偿测试领域,尤其适用于对压阻式加速度传感器零位输出要求条件苛刻的情况下使用。
技术介绍
压阻式加速度传感器以半导体压阻效应为基础,通过半导体工艺在与质量块连接的梁上制作压敏电阻,受到外部加速度惯性力时,质量块位移带动支撑梁形变,在电在电阻中产生应力变化,由于半导体的压阻效应,压敏电阻发生变化,利用适当的外围电路将这种变化转换为可测量信号如电压、电流等形式输出,经过标定就可建立输出信号与被测加速度之间的关系,从而测量加速度。 压阻式加速度传感器内部压敏电阻结构以惠斯通电桥为主,要求电桥的四个桥臂电阻阻值相同,桥臂处于平衡状态,这样在静态时传感器输出为零。实际上由于工艺加工误差、封装应力、温度变化等原因,传感器内部电桥不再处于绝对的平衡状态,从而静态电压输出并不为零。在压阻式加速度传感器应用前,如果静态输出电压较大而不做调零补偿的话,在传感器应用中过大的静态输出电压会导致后端放大器在有效信号到达之前提前饱和输出,无法实现加速度测量,导致传感器应用失败。在压阻式加速度传感器应用之前进行调零成为必不可少的工作,目前相关研究也陆续开展,并发表科技论文发表论文。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压阻式加速度传感器零位补偿测试装置,其特征在于:由输入模块INP、程控电压源PVS、回路开关SW、差分放大器DA、数据采集单元ADC、主控制器MCU、开关网络MUX1、开关网络MUX2、固定补偿单元R、可调补偿单元DPOT和显示单元DIS组成;输入模块INP设置被测传感器工作电压值和预置输出电压要求值,并分别存入主控制器MCU内部两个寄存器;差分放大器输入端与传感器输出端连接,并将传感器初始状态时输出电压送入数据采集单元ADC;数据采集单元ADC接受差分放大器DA输出电压,并输出给主控制器MCU;主控制器MCU一方面接受输入模块INP输入的传感器工作电压值和预置输出电压要求值、另一方面接受...

【技术特征摘要】
1.一种压阻式加速度传感器零位补偿测试装置,其特征在于由输入模块INP、程控电压源PVS、回路开关SW、差分放大器DA、数据采集单元ADC、主控制器MCU、开关网络MUX1、开关网络MUX2、固定补偿单元R、可调补偿单元DPOT和显示单元DIS组成; 输入模块INP设置被测传感器工作电压值和预置输出电压要求值,并分别存入主控制器MCU内部两个寄存器; 差分放大器输入端与传感器输出端连接,并将传感器初始状态时输出电压送入数据采集单元ADC ; 数据采集单元ADC接受差分放大器DA输出电压,并输出给主控制器MCU ; 主控制器MCU —方面接受输入模块INP输入的传感器工作电压值和预置输出电压要求值、另一方面接受数据采集单元ADC输入的数据;主控制器MCU输出6路信号,一路到程控电压源、一路到...

【专利技术属性】
技术研发人员:方岚郑宇徐栋卜令旗
申请(专利权)人:华东光电集成器件研究所
类型:发明
国别省市:

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