一种微流控器件及其制备方法技术

技术编号:8264732 阅读:214 留言:0更新日期:2013-01-30 18:45
本发明专利技术公开了一种微流控器件及其制备方法;微流控器件包括衬底、涂覆于衬底上的缓冲层、附着于缓冲层上的压电层、光刻于压电层上的电极层、涂覆于电极层上的介质层以及涂覆于介质层上的疏水层;电极层中的电极包括网状电极以及多个均匀排列分布于所述网状电极的四周的叉指换能器;网状电极由互相连接的电极块组成。叉指换能器的电极结构可以是单叉指、双叉指或SPUDT结构。本发明专利技术提供的微流控器件集成了声波驱动和EWOD两种驱动方式,可降低液滴驱动电压和声波驱动功率,更有效简化芯片制作工艺,降低制造成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微流控技术应用领域,更具体地,涉及。
技术介绍
微流控器和传感器是芯片实验室(Lab-on-a-chip)的核心器件,用以实现其样本处理和检测分析两项基本功能。芯片实验室是指在一块几平方厘米的微型基板上制作溶液流动的微小通道网络,完成生化操作和检测,用以取代常规生化实验室的各种功能,可广泛用于医药、生化、环境等领域。微流控器件实现对样品的运输、混合、分离等处理,分为连续微流控技术和数字微流控技术。数字微流控技术进行离散操作,可实现大规模的不同液滴的并行处理,大幅度提高操作效率。工作在微纳米尺度的数字微流控技术一般通过电泳,热毛细作用,电润湿,磁 性等,对表面张力进行控制以实现对微流体的操控。近年来,随着其他驱动机制的缺陷逐渐显现,如驱动力小,难以集成液体反应器、分离器和其他功能元件等,对于声表面波(SAW)微流控器件的研究才逐渐成为热点。SAW在微流控
获得了广泛关注,SAff微流控技术是利用声速在固态衬底和表面流体中的不匹配,将能量从高频声表波中传送到液滴中,称之为声流动作用。现有技术I公开了一种以声表面波为能量源的微反应器及其反应方法,包括压电基片、用于容纳本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微流控器件,其特征在于,包括衬底、涂覆于所述衬底上的缓冲层、附着于所述缓冲层上的压电层、光刻于所述压电层上的电极层、涂覆于所述电极层上的介质层以及涂覆于所述介质层上的疏水层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:傅邱云周东祥罗为龚树萍胡云香郑志平刘欢赵俊
申请(专利权)人:华中科技大学
类型:发明
国别省市:

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