一种蓝宝石工件粘胶台制造技术

技术编号:8249781 阅读:206 留言:0更新日期:2013-01-25 08:41
本实用新型专利技术属于蓝宝石加工技术领域,具体涉及一种蓝宝石工件粘胶台。包含操作台面,包含一个垂直台柱;定位装置,用于调整工件装置位置的装置;定向装置,用于晶棒晶向角度测向的装置;工件装置,用于固定蓝宝石晶棒的装置;所述定向装置包括固定在三维笛卡尔坐标系主轴上的三个千分表。本实用新型专利技术同样能实现蓝宝石晶棒的定向,同时结构简单方便,成本低廉,可以同时进行多个方向的晶棒定向,省时省力。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属于蓝宝石加工
,具体涉及一种蓝宝石工件粘胶台
技术介绍
蓝宝石硬度高、熔点高、透光性好,化学性能稳定,广泛应用于机械、光学、信息等高
人工生长的蓝宝石具有很好的耐磨性,硬度仅次于金刚石达到莫氏9级。由于蓝宝石硬度高而且脆性大,故对其进行机械加工非常困难,尤其是GaN生长的蓝宝石衬底片,其精密加工技术更是复杂,是当今重点研究的课题之一。蓝宝石衬底晶片是LED产业链的核心环节,以往这种产品的制造技术都被国外公司垄断,其关键技术和专利多掌握在美、日大厂手中,为迅速切入该领域,国内企业大多只能以“加工模式”与外资合作,购买外资提供的技术和设备后组织生产。在蓝宝石上切割设备切割之前,需要将蓝宝石晶棒固定在工件板上形成切割工件才能进行单线或多线切割。蓝宝石晶棒粘胶和硅棒粘胶不同处在于,蓝宝石切割时有晶向角度要求,它的偏差需要控制在O. I度以内,所以在粘胶时蓝宝石晶棒与工件板的平行度和晶棒端面垂直度要求比较高。现有的蓝宝石粘胶台是通过安装X光定向的方法来调整晶棒位置,需要多个方向进行多次定向,费时费工,同时价格非常昂贵,阻碍其推广应用。
技术实现思路
解决上述现有技术存在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓝宝石工件粘胶台,其特征在于所述粘胶台包含操作台面,包含一个垂直台柱;定位装置,用于调整工件装置位置的装置;定向装置,用于晶棒晶向角度测向的装置;工件装置,用于固定蓝宝石晶棒的装置;所述定向装置包括固定在三维笛卡尔坐标系主轴上的三个千分表。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈益军邹维
申请(专利权)人:浙江上城科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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