【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种化学液去气泡装置，具体涉及一种可满足半导体、太阳能和LED/LCD等行业的无气泡化学液输送要求、并改善化学液在线流量监测精度的化学液去气泡装置。
技术介绍
现有工业制造过程中，特别是半导体、太阳能和LED/IXD等行业对化学液添加主要是通过气动泵，相关阀门管件直接加至需液湿法处理机台的槽体里，但由于未去除液体中气泡，影响了在线流量计的精度，从而使得实际的加液量产生偏差，化学品的浓度变化，使得相关工艺得不到保证。
技术实现思路
本技术所解决的技术问题在于提供一种可满足半导体、太阳能和LED/LCD等行业的无气泡化学液输送要求、并改善化学液在线流量监测精度的化学液去气泡装置。本技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现一种化学液去气泡装置，包含液桶、去气泡容器、设于所述去气泡容器顶端的进液口、排气口、出液口以及设于其底端的排液口，所述液桶通过进液管道与所述进液口密封连接，其特征在于在所述进液管道上还依次设有通过压缩空气驱动的气动泵和气动隔膜进液阀，在所述排气口上设有一排气管道，所述出液口通过出液管道与湿法处理机密封连接，在所述排液口上设有一排液管道。在所述去气...
【技术保护点】
一种化学液去气泡装置，包含液桶、去气泡容器、设于所述去气泡容器顶端的进液口、排气口、出液口以及设于其底端的排液口，所述液桶通过进液管道与所述进液口密封连接，其特征在于：在所述进液管道上还依次设有通过压缩空气驱动的气动泵和气动隔膜进液阀，在所述排气口上设有一排气管道，所述出液口通过出液管道与湿法处理机密封连接，在所述排液口上设有一排液管道。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王飞，
申请(专利权)人：上海旭熠电子技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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