石英微机械音叉陀螺仪制造技术

本发明专利技术属于惯性器件技术领域，公开了一种微机械音叉陀螺仪。该微机械音叉陀螺仪的音叉结构包括两个驱动臂、两个敏感臂和一个“王”字型承载梁，该“王”字型承载梁由上、中、下三个横梁和一个纵梁构成，并将两个驱动臂和两个敏感臂设置在中横梁上，且分别对称位于纵梁的两侧，敏感电荷在叉指上左右对称分布，不需要再对侧面电极进行分块，克服了分块电极加工难度大的问题。同时，利用结构的对称性可以消除加速度及各种耦合的影响。通过增加叉指数，提高了灵敏度，而且吸收了H型结构对称性及引入反馈电极的优点，也吸收了平面型结构电极易于制作的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及惯性器件
，特别是涉及一种石英微机械音叉陀螺仪。
技术介绍
随着国内姿态控制和导航技术的发展，对国产化高精度陀螺仪产品的需求越来越急迫。现有的石英微机械陀螺仪应用最广泛，主要包括U型结构石英微机械陀螺仪和H型结构石英微机械陀螺仪。U型结构石英微机械陀螺仪侧面敏感电极需要分块，制造工艺难度大，并且其叉指厚度与宽度接近，驱动信号和检测信号耦合严重。而H型结构石英微机械陀螺仪同样需要采用侧面分块检测电极才能够获得较高的检测灵敏度，目前国内分块电极制作技术还不成熟，加工难度较大。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术提供一种石英微机械音叉陀螺仪，用以解决现有结构石英微机械陀螺仪侧·面需要分块敏感电极和检测电极，而分块电极制作技术不成熟，加工难度较大的问题。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种石英微机械音叉陀螺仪，包括音叉结构，其中，所述音叉结构为双H结构，包括两个驱动臂、两个敏感臂和一个“王”字型承载梁；所述“王”字型承载梁为音叉结构，由上横梁、中横梁、下横梁三个横梁和一个纵梁构成；所述两个驱动臂和两个敏感臂均设置在所述中横梁上，分别对称位于所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石英微机械音叉陀螺仪，包括音叉结构，其特征在于，所述音叉结构为双H结构，包括两个驱动臂、两个敏感臂和一个“王”字型承载梁；所述“王”字型承载梁为音叉结构，由上横梁、中横梁、下横梁三个横梁和一个纵梁构成；所述两个驱动臂和两个敏感臂均设置在所述中横梁上，分别对称位于所述纵梁的两侧，且所述两个驱动臂的形状及质量完全相同，所述两个敏感臂的形状及质量完全相同；所述上横梁的顶端及下横梁的底端各连接一固定块，所述微机械音叉结构通过所述固定块固定在基座上；其中，所述音叉结构以所述纵梁为对称轴呈镜像对称，同时以所述中横梁为对称轴呈镜像对称。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨鹏远，刘超，
申请(专利权)人：北京晨晶电子有限公司，
类型：发明
国别省市：