【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体器件，具体地，涉及一种钴基磁性薄膜电感器及其制作方法。
技术介绍
1、电感器是电子电路中三大核心元件之一，承担着滤除噪声、筛选信号、维持电流稳定以及抑制电磁干扰等关键角色。电感器被广泛应用于通信、计算机、音视频设备、家用电器、自动化电子设备和电信广播设备等多种电子产品中。随着微电子机械系统（mems）技术和半导体集成电路技术的持续进步，电子电路正变得更加微型化、轻量化和集成化，这对电感器的性能提出了更高的要求。在早期，平面电感器主要为无磁芯的空心电感器，由于没有磁芯材料带来的磁损耗，所以平面电感器能够实现较高的品质因数q和自谐振频率。然而，空心电感器的电感密度较低，为了在集成电路中达到足够的电感值和品质因数，必然需要大量的线圈，导致体积变大，这与集成电路的小型化趋势相冲突。为了显著减少线圈匝数和降低电感器的尺寸，采用磁性薄膜技术制造薄膜电感器成为了一种创新的解决方案。尽管结合磁性薄膜的平面电感器能够显著提升电感性能，但它工作频率相对较低，在高频下难以实现高电感值和高品质因数。
技术实现思路
【技术保护点】
1.一种钴基磁性薄膜电感器，其特征在于，包括：衬底层、磁性层、绝缘层和金属线圈层；其中，
2.根据权利要求1所述的钴基磁性薄膜电感器，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的钴基磁性薄膜电感器，其特征在于，所述金属线圈层是通过以下步骤得到的：
4.根据权利要求2或3所述的钴基磁性薄膜电感器，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的钴基磁性薄膜电感器，其特征在于，所述金属线圈层是通过以下步骤得到的：
6.一种钴基磁性薄膜电感器的制作方法，其特征在于，包括：
7.根据权利要求6所述的制作方法，其特征在于，
8.根...
【技术特征摘要】
1.一种钴基磁性薄膜电感器，其特征在于，包括：衬底层、磁性层、绝缘层和金属线圈层；其中，
2.根据权利要求1所述的钴基磁性薄膜电感器，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的钴基磁性薄膜电感器，其特征在于，所述金属线圈层是通过以下步骤得到的：
4.根据权利要求2或3所述的钴基磁性薄膜电感器，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的钴基磁性薄膜电感器，其特征在于，所述金属线圈层是通过以下步骤...
【专利技术属性】
技术研发人员：李蓥，雷虎成，李萍，谭惠文，董世杰，纪康宁，谷华锋，
申请(专利权)人：北京晨晶电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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