下载钴基磁性薄膜电感器及其制作方法的技术资料

文档序号:45036699

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本发明提供一种钴基磁性薄膜电感器及其制作方法,属于半导体器件技术领域。该钴基磁性薄膜电感器包括:衬底层、磁性层、绝缘层和金属线圈层。衬底层的材质是玻璃;磁性层设置在衬底层的上表面上,该磁性层的材料为钴基非晶软磁材料;绝缘层设置在磁性层的远离...
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