干涉仪用4”F0.75非球面标准镜头制造技术

技术编号:8232530 阅读:408 留言:0更新日期:2013-01-18 15:00
一种干涉仪用4”F0.75非球面标准镜头,其特征是它由一片高精度非球面镜片(1)和一片参考球面镜片(2)组成,所述的高精度非球面镜片(1)用于校正该镜头的绝大多数球差,参考球面镜片(2)的凹面为参考面。本实用新型专利技术有效的减轻了镜头的重量,镜片的数量由4片减小到了2片,光学件的重量减小了0.2kg左右,金工件的重量同时减小了0.3kg左右,总重量减小了约0.5kg,装配工艺和要求简化,装调过程更为简单,综合波前的精度得到了提高,可控制在1λ以内。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种光学镜头,尤其是一种干涉仪上使用的标准镜头,具体地说是一种仅由两片球面镜片组成的干涉仪用4”H). 75非球面标准镜头。
技术介绍
4^0. 75标准非球面镜头是标准镜头的一种,它是干涉仪的重要组成部件,用于球面表面的检测。它可以用来测量窗口、棱镜、滤色片和反射镜等各种元件的面型精度,也就是说标准镜头的质量直接影响干涉仪的测量精度。随着市场对光学产品的需求不断提高,对光学产品的质量要求也越来越高,F0. 75标准镜头正是符合这种要求的产品,它是一种高精度、高价值的精密光学组件。目前,国内市场的4T0.75标准镜头都是由4片球面镜片组合而成,如图I。其缺点主要有a.该镜头重量大,整个镜头总共有4片球面镜片组成,同时加上装配过程中所使用的隔圈、压圈等,其总重量很大。b.该镜头由4片镜片组成,在装配过程中要求非常高、难度非常大。c.综合波前精度不高,一般在I. 5 λ左右。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有4” H). 75标准镜头片数多,结构复杂,重量大,装配难度高的问题,设计一种仅用二片非球面标准镜头组成的干涉仪用4”F0. 75非球面标准镜头。本技术的技术方案是—种干涉仪用4Τ0. 75非球面标准镜头,其特征是它由一片高精度非球面镜片I和一片参考球面镜片2组成,所述的高精度非球面镜片I用于校正该镜头的绝大多数球差,参考球面镜片2的凹面为参考面。所述的非球面标准镜头与参考球面镜片2相对的一面的曲面方程为ζ =——+ a.r2 4-+ ar,r + aAr* + asr,e,式中 :fi ...... 2.02 3 18, ix 3 ..... I .A Ofy 7 a I I,o^ 二 7—1— 16,q s = -1.433感—c为顶点的基本曲率即基圆半径的倒数1/r,k为圆锥曲线常数,不同取值表示不同非球面类型k=0球面,K〈-l双曲面,k=-l抛物面,-l〈k〈0椭球面,k>0扁椭球面,r为表面上点的径向坐标。所述的高精度非球面镜片I的非球面的加工精度PV值要求需要小于O. 3 μ m。所述的参考球面镜片2的凹面不规则至少小于1/10 λ。本技术的有益效果a.有效的减轻了镜头的重量,镜片的数量由4片减小到了 2片,光学件的重量减小了 O. 2kg左右,金工件的重量同时减小了 O. 3kg左右,总重量减小了约O. 5kg。b.装配工艺简化了,由原来的4片减少到2片,大大缩减了镜片的数量,装配要求也简化了,装调过程也简单了。c.综合波前的精度可以控制在I λ以内,提高了精度。附图说明图I是现有的4”R). 75标准镜头的结构示意图。图2是本技术的4”H). 75标准镜头的结构示意图。具体实施方式以下结合附图和实施例对本技术作进一步的说明。 如图2所示。一种干涉仪用4T0. 75非球面标准镜头它由一片高精度非球面镜片I和一片参考球面镜片2组成,所述的高精度非球面镜片I用于校正该镜头的绝大多数球差,它的非球面的加工精度PV值要求需要小于O. 3 μ m,它与参考球面镜片2相对的一面的曲面方程为权利要求1.一种干涉仪用4”H). 75非球面标准镜头,其特征是它由一片高精度非球面镜片(I)和一片参考球面镜片(2)组成,所述的高精度非球面镜片(I)用于校正该镜头的绝大多数球差,参考球面镜片(2)的凹面为参考面。2.根据权利要求I所述的干涉仪用4”R).75非球面标准镜头,其特征是所述的非球面标准镜头与参考球面镜片(2)相对的一面的曲面方程为3.根据权利要求I所述的干涉仪用4T0.75非球面标准镜头,其特征是所述的高精度非球面镜片(I)的非球面的加工精度PV值要求需要小于O. 3 μ m。4.根据权利要求I所述的干涉仪用4T0.75非球面标准镜头,其特征是所述的参考球面镜片(2)的凹面不规则至少小于1/10 λ。专利摘要一种干涉仪用4”F0.75非球面标准镜头,其特征是它由一片高精度非球面镜片(1)和一片参考球面镜片(2)组成,所述的高精度非球面镜片(1)用于校正该镜头的绝大多数球差,参考球面镜片(2)的凹面为参考面。本技术有效的减轻了镜头的重量,镜片的数量由4片减小到了2片,光学件的重量减小了0.2kg左右,金工件的重量同时减小了0.3kg左右,总重量减小了约0.5kg,装配工艺和要求简化,装调过程更为简单,综合波前的精度得到了提高,可控制在1λ以内。文档编号G02B3/02GK202676937SQ201220338249公开日2013年1月16日 申请日期2012年7月13日 优先权日2012年7月13日专利技术者尹延学 申请人:茂莱(南京)仪器有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种干涉仪用4”F0.75非球面标准镜头,其特征是它由一片高精度非球面镜片(1)和一片参考球面镜片(2)组成,所述的高精度非球面镜片(1)用于校正该镜头的绝大多数球差,参考球面镜片(2)的凹面为参考面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:尹延学
申请(专利权)人:茂莱南京仪器有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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