非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁系统。其系统包括有一个清洁箱，太阳能电池PECVD基片装载箱可安置在清洁箱上部，所述清洁箱的底部设置有杂质收集斗；所述清洁箱通过蒸汽管道与蒸汽发生装置连接，并可对清洁箱内进行蒸汽熏蒸；清洁箱上还设置有安装有泄压阀的排汽口；该系统还包括有一个可对熏蒸后的非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱进行加热干燥的烘箱。本实用新型专利技术可以对装载箱进行蒸汽熏蒸、冷却、烘箱加热烘干、再冷却的交替处理，使附着在装载箱内壁的杂质形态因外部条件的交替变化而发生变形，从而自然剥落，简化了清洁过程、提高了清洁效率、改善了清洁效果。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁系统，其特征是：它包括有一个清洁箱（1），清洁箱（1）的底部设置有杂质收集斗（16）；清洁箱（1）通过蒸汽管道（3）与蒸汽发生装置（4）连接，并可对清洁箱内进行蒸汽熏蒸；清洁箱上还设置有安装有泄压阀（11）的排汽口（12）；该系统还包括有一个可对熏蒸后的非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱进行加热干燥的烘箱。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：何文，俞远高，徐娜，成惠峰，孙大会，
申请(专利权)人：圣睿太阳能科技镇江有限公司，
类型：实用新型
国别省市：