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本实用新型涉及一种非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁系统。其系统包括有一个清洁箱，太阳能电池PECVD基片装载箱可安置在清洁箱上部，所述清洁箱的底部设置有杂质收集斗；所述清洁箱通过蒸汽管道与蒸汽发生装置连接，并可对清洁箱内进行蒸汽...
该专利属于圣睿太阳能科技（镇江）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过圣睿太阳能科技（镇江）有限公司授权不得商用。

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