可高速、高精度地进行指定的气体激光振荡器中的指令装置制造方法及图纸

技术编号:8216919 阅读:195 留言:0更新日期:2013-01-17 19:35
本发明专利技术提供一种可高速、高精度地进行指定的气体激光振荡器中的指令装置。该气体激光振荡器中的指令装置具有多个放电管和对应的多个电极,并具有制作多个激光电源的指令的指令制作部、和把制作的指令分离为偏置指令、输出指令、偏移指令以及增益指令的分离部,偏置指令和输出指令对于多个激光电源是共用的,偏移指令以及增益指令至少根据多个激光电源中的各个激光电源的放电管决定,还包含发送部,用于向多个激光电源发送对于多个激光电源共用的偏置指令以及输出指令,同时与多个激光电源对应地串行发送至少根据多个激光电源的放电管决定的偏移指令以及增益指令。由此,即使在有多个电源的情况下也能够用短的时间调整基极放电以及最大注入电力。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及气体激光振荡器中的指令装置。特别本专利技术涉及可高速、高精度地进行指定的气体激光振荡器中的指令装置
技术介绍
历来,在气体激光振荡器中根据需要的激光输出具有多个激光电源。图3是表示在现有技术中的气体激光振荡器中具有两个激光电源的例子的图。图3表示的气体激光振荡器200具有两个激光电源110、120。如图3所示,在CNC中制作的指令发送至输出 指令装置100的通信IC350,分离为偏置指令410和输出指令420。这些指令分别在D/A变换部440a、440b中被D/A变换后,通过加算电路460进行加算。接着,把进行加算后的模拟指令电压向各个激光电源110、120共同发送。激光电源通过匹配单元150、160向气体激光振荡器200的放电管210、220的电极230、240供给与模拟指令电压成比例的电力。由此,控制来自气体激光振荡器200的激光输出。通常,在激光器运转状态亦即能够输出激光射束的状态下,始终发送一定的偏置指令。另外,通过使要加在偏置指令上的输出指令变化,控制来自气体激光振荡器200的激光输出。这些偏置指令以及输出指令对于双方的激光电源110、120分别是共用的值。但是,气体激光振荡器200的激光气体循环路径250中的放电管210、220的电极230、240、放电管210、220内的激光气体的压力、与这些电极230、240分别相邻地配置的辅助电极310、320、以及匹配单元150、160的特性互相离散。下面有时把这些汇总简单称为激光电源的负荷。因此,在现有技术中在激光电源110、120中分别设置指令电压调整电路130、140。这些指令电压调整电路130、140,在各激光电源110、120中执行偏置指令时的基极放电的调整、和在最大输出指令时的激光电源的最大注入电力的调整,吸收上述离散。在调整基极放电时,使输出指令420为零,同时仅发送偏置指令410,然后用目视来确认放电管230、240的放电熄灭,激光振荡器200在振荡阈值以下(激光输出0W),而且维持通过辅助电极310、320进行的辅助放电,同时操作者调节在指令电压调整电路130、140上分别设置的偏置调整用的可变电阻(未图示)。另外,在调整激光电源的最大注入电力时,发送偏置指令410和最大输出指令420。亦即向激光电源发送相加偏置指令和最大输出指令后的模拟指令电压。然后,操作者一边使能够最大限度地利用激光电源的能力地测定激光电源的注入电力,一边调节在指令电压调整电路130、140上分别设置的增益调整用的可变电阻(未图示)。随气体激光振荡器200的输出增大,在每一个振荡器上装备的激光电源的数目增多。因此,当激光电源的数目增多时,操作者调整指令电压调整电路的可变电阻来调整基极放电以及最大注入电力变得更加烦杂。这里,在日本特许第4141562号中公开的指令方式中,为吸收各激光电源的负荷的离散,检测DC电流来调整指令电压。在日本特许第4141562号中,需要同样的模拟电压的调整电路130、140。进而在日本特许第2633288号中,公开了具有从CNC向激光电源发送偏置指令以及输出指令两种指令的装置的激光振荡器。在该方式中,从CNC独立地向各电源发送偏置指令以及输出指令,进行基极放电和最大注入电力的调整。但是,在日本特许第4141562号中,有由于指令电压调整电路130、140以及上述的负荷的离散或者温度等的环境的变化调整精度降低或者检测时的应答时间延迟这样的问题。进而有指令电压调整电路130、140的电路结构变得复杂的问题。进而在模拟电压的调整电路中,对于多个电源中相同值的偏置指令以及输出指令不能管理各激光电源的偏移调整和增益调整的可变电阻中的调整量,每次激光电源故障而更换时都需要调整基极放电和最大注入电力。另外,在日本特许第4141562号中,有通过基极放电的调整失误发生加工不良的可能性。亦即即使在使输出指令为零仅发送偏置指令的状态下,有时也会超过激光振荡器的振荡阈值而发生激光输出。在这样的情况下,有在工件上形成划线的问题。进而在日本特许第4141562号中,当在辅助放电熄灭的状态下使输出指令急剧上升时,激光电源和负荷的阻抗匹配失调,也有激光电源破损的可能性。进而,在调整最大注入电力时,有注入电力不足而发生加工不良(激光输出不足),或者注入电力过剩,激光电源、匹配单元、放电管等破损这样的问题。进而在日本特许第2633288号中,当在每一个激光振荡器上装载的激光电源的数目增多时,有发送的数据量增加(12bitX2种X装载的激光电源的数目)这样的课题。通常,可使用的数据量根据硬件(通信IC)或者CNC的软件受限,因此激光电源的数目也根据这些规定。另外,在该方式中,如日本特许第2633288号的图3 (b)的流程图中所示,对于每一个激光电源依次调整基极放电和最大注入电力。因此在激光电源的数目多的情况下,有激光电源的调整时间大幅度变长的可能性。
技术实现思路
本专利技术鉴于这样的事情做出,其目的是提供气体激光振荡器中的一种指令装置,其即使在激光电源的数目多的情况下,也能够不延长激光电源的调整时间,容易地调整基极放电和最大注入电力。为实现上述目的,根据第一实施方式,提供一种激光振荡器中的指令装置,其是具有多个放电管和与这些多个放电管对应的多个电极的气体激光振荡器中的多个激光电源的指令装置,该激光振荡器中的指令装置的特征在于,具有指令制作部,其制作针对上述多个激光电源的指令;和分离部,其把通过该指令制作部制作的指令分离为偏置指令、输出指令、偏移指令以及增益指令,上述偏置指令以及输出指令是对于上述多个激光电源共用的指令,上述偏移指令以及增益指令至少根据上述多个激光电源中的各个激光电源的上述放电管决定,上述激光振荡器中的指令装置还具有发送部,其用于向上述多个激光电源中的各个激光电源发送对于上述多个激光电源共用的上述偏置指令以及上述输出指令,同时与上述多个激光电源中的各个激光电源对应地串行发送至少根据上述多个激光电源中的各个激光电源的上述放电管决定的上述偏移指令以及上述增益指令。根据第二实施方式,在第一实施方式中,上述发送部包含加算调整部,其在对于上述多个激光电源共用的上述偏置指令上加算根据上述多个激光电源中的各个激光电源的上述放电管以及上述电极中的至少一方决定的上述偏移指令,来调整上述激光振荡器中的基极放电;和相乘调整部,其在对于上述多个激光电源共用的上述输出指令上乘以至少根据上述多个激光电源中的各个激光电源的上述放电管决定的上述增益指令,来调整上述激光振汤器中的最大注入电力。根据第三实施方式,在第一实施方式中,上述激光振荡器包含在上述多个激光电源中的各个激光电源和上述激光振荡器之间配置的多个匹配单元;和与上述多个电极中的各个电极相邻地配置的辅助电极,根据上述多个激光电源中的各个激光电源的 上述放电管、上述放电管的压力、上述匹配单元以及上述辅助电极中的至少一个,决定上述偏移指令以及上述增益指令。附图说明从对在附图中表示的本专利技术的典型的实施方式的详细说明,能够更加明了本专利技术的这些目的、特征和优点以及其他的目的、特征和优点。图I是基于本专利技术的气体激光振荡器的概略图。图2是图I中表示的输出指令装置的功能框图。图3是表示现有技术中的气体激光振荡器的图。具体实施例本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种激光振荡器中的指令装置,其是具有多个放电管(21、22)和与这些多个放电管(21、22)对应的多个电极(23、24)的气体激光振荡器(20)中的多个激光电源(11、12)的指令装置,该激光振荡器中的指令装置的特征在于,具有:指令制作部(5),其制作针对上述多个激光电源(11、12)的指令;和分离部(36),其把通过该指令制作部(5)制作的指令分离为偏置指令、输出指令、偏移指令以及增益指令,上述偏置指令以及输出指令是对于上述多个激光电源(11、12)共用的指令,上述偏移指令以及增益指令至少根据上述多个激光电源(11、12)中的各个激光电源的上述放电管(21、22)决定,上述激光振荡器中的指令装置还具有发送部(37),其用于向上述多个激光电源(11、12)中的各个激光电源发送对于上述多个激光电源(11、12)共用的上述偏置指令以及上述输出指令,同时与上述多个激光电源(11、12)中的各个激光电源对应地串行发送至少根据上述多个激光电源(11、12)中的各个激光电源的上述放电管(21、22)决定的上述偏移指令以及上述增益指令。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:本田昌洋池本肇
申请(专利权)人:发那科株式会社
类型:发明
国别省市:

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