自动化物料输送系统及其方法技术方案

本发明专利技术公开了一种自动化物料输送系统及其方法，属于物料输送领域。该系统包括：存储设备，包括至少两个存储单元，每个所述存储单元中分层存储有物料；导轨，与所述物料的生产区域的主导轨一体，并设置在所述存储设备中每相邻两个所述存储单元之间；物料输送单元，用于在所述存储设备中进出和存取所述物料，并沿着所述导轨行驶以输送存取的所述物料；位置传感器，用于确定所述物料输送单元在所述导轨上的第一位置；传动单元，用于将存取的所述物料在存放位置与第二位置之间推送传递，所述第二位置与所述第一位置在竖直方向上对应。本发明专利技术简化了系统复杂度，提高了可靠性，降低了物料的生产成本。

【技术实现步骤摘要】
自动化物料输送系统及其方法
本专利技术属于物料输送领域，具体地说，涉及一种自动化物料输送系统及其方法。
技术介绍
随着半导体技术的发展，300mm的硅片已经取代200mm的硅片成为主流，每个装载了硅片的容器重量由原来的约4公斤变成了约9公斤。因此，如果借助于人力来在各个制造模块之间来进行输送的话，会导致效率比较低，同时还可能导致人员被伤害的危险。而由于可以有效提高厂房利用率、缩短产品的生产周期，自动化物料输送系统(AutomatedMaterialHandlingSystems，以下简称：AMHS)相对于人力化的物料输送来说，成为在300mm硅片制造过程中各个制造模块之间来进行输送硅片的主要纽带。图8为现有技术中自动化物料输送系统的结构示意图。如图8所示，该自动化物料输送系统主要包括：存储单元STOCKER801和升降机子系统802。其中，存储单元STOCKER801设有至少一个输入口811、至少一个输出口821，存储单元STOCKER801中放置有盒式容器803，在盒式容器803存放有物料(WorkInProduct，以下简称WIP)如硅片。升降机子系统802包括设置在存储单元ST本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动化物料输送系统，其特征在于，包括：存储设备，包括至少两个存储单元，每个所述存储单元中分层存储有物料；导轨，与所述物料的生产区域的主导轨一体，并设置在所述存储设备中每相邻两个所述存储单元之间；物料输送单元，用于在所述存储设备中进出和存取所述物料，并沿着所述导轨行驶以输送存取的所述物料；位置传感器，用于确定所述物料输送单元在所述导轨上的第一位置；传动单元，用于将存取的所述物料在存放位置与第二位置之间推送传递，所述第二位置与所述第一位置在竖直方向上对应。

【技术特征摘要】
1.一种自动化物料输送系统，其特征在于，包括：存储设备，包括至少两个存储单元，每个所述存储单元中分层存储有物料，每个所述存储单元中设置有存储位，用于存放装载物料的容纳单元；导轨，与所述物料的生产区域的主导轨一体，并悬空设置在所述存储设备中每相邻两个所述存储单元之间；物料输送单元，用于在所述存储设备中进出和存取所述物料，并沿着所述导轨行驶以输送存取的所述物料；所述物料输送单元包括输送车和拾取单元，其中，所述输送车用于带动所述拾取单元沿着所述导轨行驶以输送所述物料；所述拾取单元设置在所述输送车前端，用于通过升降存取所述物料；位置传感器，用于确定所述物料输送单元在所述导轨上的停靠位置，作为第一位置；传动单元，将存取的容纳单元向左或者向右推送到导轨上停靠位置处所述物料输送单元的正下方位置，作为第二位置，用于将存取的所述物料在存放位置与第二位置之间推送传递，所述第二位置与所述第一位置在竖直方向上对应；其中，每个所述存储单元中同层的所有所述存储位共享设置一所述传动单元，或者每个所述存储单元中同层的每个所述存储位单独设置一所述传动单元；所述拾取单元根据第一位置和第二位置抓放容纳单元。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括：存取门，用于使所述物料输送单元在存取所述物料时进出所述存储设备，设置在所述存储设备一侧或相对的两侧。3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，每个所述存储单元中同层的所有所述容纳单元共享设置一所述存储位，或者，每个所述存储单元中同层的每个所述容纳单元单独设置一所述存储位。4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述容纳单元...

【专利技术属性】
技术研发人员：李佳青，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：