一种实时颜色动态调控微器件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种实时颜色动态调控微器件。利用同步辐射光源在铂层上制备高深宽比的PMMA二维微结构阵列，利用直流磁控溅射在微结构内部沉积锆钛酸铅薄膜层，在微结构的顶部沉积高反射率纳米金属铬层，形成有高度差的上下两层反射层，通过改变铂、铬之间的电压，实时控制两反射层之间的高度差，使器件在自然光条件下呈现出不同的颜色，实现颜色的动态调控。本实用新型专利技术突破了传统微结构阵列深度方向尺寸固定的限制，利用压电薄膜材料的逆压电效应，只需改变外部电压，即可实时控制微结构的深度变化，从而实现无颜料多种色彩的实时动态调控，符合绿色环保的主题，可望在光学、材料学及印刷业、建筑业等领域获得广泛应用。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种实时颜色动态调控微器件，其特征在于包括钛基片（1）、铂层（2）、聚甲基丙烯酸甲酯微结构阵列（3）、锆钛酸铅薄膜层（4）、铬纳米层（5）、正电极（6）、负电极（7）、控制电源（8）；钛基片（1）上溅射铂层（2）；铂层（2）上用同步辐射光源制备聚甲基丙烯酸甲酯微结构阵列（3）；在聚甲基丙烯酸甲酯微结构阵列（3）内磁控溅射锆钛酸铅薄膜层（4）；在聚甲基丙烯酸甲酯微结构阵列（3）和锆钛酸铅薄膜层（4）的上面溅射铬纳米层（5）；正电极（6）和负电极（7）分别从铬纳米层（5）和铂层（2）中引出并和控制电源（8）相连；随着控制电源（8）输出的电压变化，锆钛酸铅薄膜层（4）的厚度改变，从聚甲基丙烯酸甲酯微结构阵列（3）上表面和锆钛酸铅薄膜层（4）上表面出来的两束光的光程差发生变化，从而引起颜色的改变。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谷铖，王旭龙琦，张冬仙，章海军，马毅，毕然，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：实用新型
国别省市：