利用可控脉冲激光加工纳米结构的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种利用可控脉冲激光加工纳米结构的装置，包括真空腔体，在真空腔体的侧面设有激光窗口，在激光窗口上设有腔入射镜，在激光窗口外设有PLE激光透镜，在真空腔体内设有样品台，样品台与PLE激光透镜的光路对应，在样品台的后端连接有取样柄；在激光窗口外设有光纤探头，在真空腔体外设有光谱仪，光纤探头与光谱仪连接。本实用新型专利技术利用脉冲激光等离子体刻蚀技术，用光纤探头探测其等离子体辉光在不同气氛中变化，通过改变加工气氛来获得对发光工作物质进行可控的激活操作；本实用新型专利技术可通过切换光路来实现PLE和PLD的复合加工，制备各种半导体发光纳米结构，特别是含量子点的超晶格发光结构。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种利用可控脉冲激光加工纳米结构的装置，包括真空腔体（1），其特征在于：在真空腔体（1）的侧面设有激光窗口（2），在激光窗口（2）上设有腔入射镜（7），在激光窗口（2）外设有PLE激光透镜（3），在真空腔体（1）内设有样品台（5），样品台（5）与PLE激光透镜的光路对应，在样品台（5）的后端连接有取样柄（6）；在激光窗口（2）外设有光纤探头（8），在真空腔体（1）外设有光谱仪（9），光纤探头（8）与光谱仪（9）连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄伟其，
申请(专利权)人：贵州大学，
类型：实用新型
国别省市：