一种集成光子芯片及其制备方法技术

一种集成光子芯片及其制备方法。首先制备基于纳米线阵列的可调谐激光器、集成波导型光隔离器、基于表面等离子体的光耦合器和光探测器，并把以上器件制作成为单独的‘子芯片’。在此基础上，把这些单独的‘子芯片’通过混合集成的方法集成到同一‘母芯片’上，形成集成光子芯片。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨树明，张坤，胡庆杰，李磊，韩枫，蒋庄德，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：