【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种冷阱，尤其涉及一种用于油扩散泵的冷阱。
技术介绍
冷讲(cold trap ；cryo trap)是在冷却的表面上以凝结方式捕集气体的讲,是置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。扩散泵增加冷阱的目的主要是为了防止返流和迁移。泵油通过泵的入口流到被抽容器的现象称之为返流。油分子沿着器壁移动进入被抽容器的现象叫做反迁移。无论是反流还是反迁移都影响真空系统的极限压力。冷阱广泛用于超高真空系统，它装载扩散泵入口与真空室之间，不仅能有效地捕集扩散泵的返流蒸气及部分裂解物，而且可抽除来自真 空室的蒸气。图I为现有冷阱A结构示意图，请参见图1，现有冷阱包括挡板2和铜管3，铜管3和冷阱一侧的冷媒接头6相连，冷阱另一侧设有法兰I ;挡板2分布为百叶窗型，铜管3按几字型分布。这种冷阱的缺点为返流大，油蒸气分子在布朗运动的作用下通过的几率大。铜管几字形分布结构导致其与挡板接触面积很小。传统冷阱B的结构如图2所示，挡板2和铜管3设于冷阱壁5内，挡板2分布为锥状人字型环形分布，铜管3按环形分布。这种冷阱的缺点为流导小，抽真空的速率小；铜管几字形分布结构导致其...
【技术保护点】
一种用于油扩散泵的冷阱，包括设置在冷阱壁（5）内的挡板（2）和铜管（3），所述铜管（3）和冷媒接头（6）相连，其特征在于，所述铜管（3）环形排布，所述挡板（2）包括锥状环形挡板和直边段环形挡板，所述直边段环形挡板设在锥状环形挡板上端。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：毛念新，严仲君，黄翔鄂，王新征，
申请(专利权)人：上海嘉森真空科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。