一种用于油扩散泵的冷阱制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于油扩散泵的冷阱，包括设置在冷阱壁内的挡板和铜管，所述铜管和冷媒接头相连，其中，所述铜管环形排布，所述挡板包括锥状环形挡板和直边段环形挡板，所述直边段环形挡板设在锥状环形挡板上端；所述挡板和铜管沿冷阱中心轴左右对称分布，位于冷阱中心轴位置的直边段环形挡板上设有挡油帽。本实用新型专利技术提供的用于油扩散泵的冷阱，通过设置锥状环形挡板和直边段环形挡板增加铜管和挡板的接触面积，提高冷媒的冷却效果，减少返流的几率，且对流导的影响不大。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种冷阱，尤其涉及一种用于油扩散泵的冷阱。
技术介绍
冷讲(cold trap ；cryo trap)是在冷却的表面上以凝结方式捕集气体的讲,是置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。扩散泵增加冷阱的目的主要是为了防止返流和迁移。泵油通过泵的入口流到被抽容器的现象称之为返流。油分子沿着器壁移动进入被抽容器的现象叫做反迁移。无论是反流还是反迁移都影响真空系统的极限压力。冷阱广泛用于超高真空系统，它装载扩散泵入口与真空室之间，不仅能有效地捕集扩散泵的返流蒸气及部分裂解物，而且可抽除来自真 空室的蒸气。图I为现有冷阱A结构示意图，请参见图1，现有冷阱包括挡板2和铜管3，铜管3和冷阱一侧的冷媒接头6相连，冷阱另一侧设有法兰I ;挡板2分布为百叶窗型，铜管3按几字型分布。这种冷阱的缺点为返流大，油蒸气分子在布朗运动的作用下通过的几率大。铜管几字形分布结构导致其与挡板接触面积很小。传统冷阱B的结构如图2所示，挡板2和铜管3设于冷阱壁5内，挡板2分布为锥状人字型环形分布，铜管3按环形分布。这种冷阱的缺点为流导小，抽真空的速率小；铜管几字形分布结构导致其与挡板接触面积很小；锥状人字型环形分布挡板加工难度较大。传统冷阱C的结构如图3所示，挡板2分布为锥状环形，铜管3按环形分布，该冷阱返流大，油蒸气分子在布朗运动的作用下通过的几率大。由上可见，冷阱挡板的表面积越大，冷媒的冷却效果越好。挡板的设计原则1)至少要一次光学屏蔽，即至少要挡住一次束流；2)尽可能有大的流导值；3)容易加工，挡板各部分温差小，制冷剂耗量少；4)超高真空用的挡板应能承受高温烘烤。因此有必要继续对现有的冷阱结构进行改进，增加铜管和挡板的接触面积，提高冷媒的冷却效果，减少返流的几率。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种用于油扩散泵的冷阱，能够增加铜管和挡板的接触面积，减少返流的几率，且对流导的影响不大。本技术为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种用于油扩散泵的冷阱，包括设置在冷阱壁内的挡板和铜管，所述铜管和冷媒接头相连，其中，所述铜管环形排布，所述挡板包括锥状环形挡板和直边段环形挡板，所述直边段环形挡板设在锥状环形挡板上端。上述的用于油扩散泵的冷阱，其中，所述挡板和铜管沿冷阱中心轴左右对称分布，位于冷阱中心轴位置的直边段环形挡板上设有挡油帽。上述的用于油扩散泵的冷阱，其中，所述挡板由铜箔制成。本技术对比现有技术有如下的有益效果本技术提供的用于油扩散泵的冷阱，通过设置锥状环形挡板和直边段环形挡板增加铜管和挡板的接触面积，提高冷媒的冷却效果，减少返流的几率，且对流导的影响不大。附图说明图I为现有冷阱A结构示意图；图2为现有冷阱B结构示意图；图3为现有冷阱C结构示意图；图4为本技术用于油扩散泵的冷阱结构示意图。 图中I法兰2挡板3铜管4挡油帽5冷阱壁6冷媒接头7上法兰8下法兰具体实施方式以下结合附图和实施例对本技术作进一步的描述。图4为本技术用于油扩散泵的冷阱结构示意图。请参见图4，本技术提供的用于油扩散泵的冷阱包括设置在冷阱壁5内的挡板2和铜管3，所述铜管3和冷媒接头6相连，其中，所述铜管3环形排布，所述挡板2包括锥状环形挡板和直边段环形挡板，所述直边段环形挡板设在锥状环形挡板上端。本技术提供的用于油扩散泵的冷阱，挡板2优选由铜箔制成；为了更好地固定挡板，冷阱两侧设有起固定作用的上法兰7和下法兰8 ;挡板2和铜管3最好沿冷阱中心轴左右对称分布，位于冷阱中心轴位置的直边段环形挡板上可进一步设有挡油帽4防止油分子返流和迁移。综上所述，本技术提供的用于油扩散泵的冷阱，通过设置锥状环形挡板和直边段环形挡板增加铜管和挡板的接触面积，提高冷媒的冷却效果，减少返流的几率，且对流导的影响不大。虽然本技术已以较佳实施例揭示如上，然其并非用以限定本技术，任何本领域技术人员，在不脱离本技术的精神和范围内，当可作些许的修改和完善，因此本技术的保护范围当以权利要求书所界定的为准。权利要求1.一种用于油扩散泵的冷阱，包括设置在冷阱壁(5)内的挡板(2)和铜管(3)，所述铜管(3 )和冷媒接头(6 )相连，其特征在于，所述铜管(3 )环形排布，所述挡板(2 )包括锥状环形挡板和直边段环形挡板，所述直边段环形挡板设在锥状环形挡板上端。2.如权利要求I所述的用于油扩散泵的冷阱，其特征在于，所述挡板(2)和铜管(3)沿冷阱中心轴左右对称分布，位于冷阱中心轴位置的直边段环形挡板上设有挡油帽(4)。3.如权利要求I或2所述的用于油扩散泵的冷阱，其特征在于，所述挡板(2)由铜箔制成。专利摘要本技术公开了一种用于油扩散泵的冷阱，包括设置在冷阱壁内的挡板和铜管，所述铜管和冷媒接头相连，其中，所述铜管环形排布，所述挡板包括锥状环形挡板和直边段环形挡板，所述直边段环形挡板设在锥状环形挡板上端；所述挡板和铜管沿冷阱中心轴左右对称分布，位于冷阱中心轴位置的直边段环形挡板上设有挡油帽。本技术提供的用于油扩散泵的冷阱，通过设置锥状环形挡板和直边段环形挡板增加铜管和挡板的接触面积，提高冷媒的冷却效果，减少返流的几率，且对流导的影响不大。文档编号B01D8/00GK202654748SQ201220298129公开日2013年1月9日 申请日期2012年6月25日 优先权日2012年6月25日专利技术者毛念新, 严仲君, 黄翔鄂, 王新征 申请人:上海嘉森真空科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于油扩散泵的冷阱，包括设置在冷阱壁（5）内的挡板（2）和铜管（3），所述铜管（3）和冷媒接头（6）相连，其特征在于，所述铜管（3）环形排布，所述挡板（2）包括锥状环形挡板和直边段环形挡板，所述直边段环形挡板设在锥状环形挡板上端。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：毛念新，严仲君，黄翔鄂，王新征，
申请(专利权)人：上海嘉森真空科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：