光电转换装置制造方法及图纸

技术编号:8194186 阅读:137 留言:0更新日期:2013-01-10 03:57
本发明专利技术提供一种提高了光电转换效率的光电转换装置。本发明专利技术的光电转换装置具有电极层(2)和设置于该电极层(2)上的光吸收层(3)。光吸收层(3)是层叠多个含有黄铜矿系化合物半导体的半导体层而成。所述半导体层含有氧,并且所述半导体层的相互层叠侧表面附近的氧摩尔浓度,高于所述半导体层的平均氧摩尔浓度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及ー种光电转换装置
技术介绍
作为光电转换装置,已知具有由CIGS等的黄铜矿系I-III-VI族化合物半导体形成的光吸收层的光电转换装置。在日本特开2000-156517号公报中,公开了ー种在形成于基板上的电极上设置了由Cu (In,Ga) Se2等化合物半导体薄膜构成的光吸收层的例子。在该光吸收层上,设置有由CdS构成的缓冲层和由ITO构成的透明导电膜。在这种光电转换装置中,有时会产生黄铜矿结构的一部分成为空洞的缺陷部分。从产生了上述缺陷部分的光吸收层中,难以取出大电流。·
技术实现思路
本专利技术的目的在于,减少造成光吸收层的黄铜矿结构缺陷的空洞,并提高光电转换效率。本专利技术ー实施方式的光电转换装置,具有电极层和设置于该电极层上的光吸收层。在本实施方式中,对所述光吸收层而言,层叠有多个含有I-III-VI族黄铜矿系化合物半导体的半导体层。所述半导体层含有氧,并且所述半导体层的相互层叠侧表面附近的所述氧的摩尔浓度,高于所述半导体层的所述氧的平均摩尔浓度。基于本专利技术ー实施方式的光电转换装置,能够用氧填补在相邻半导体层彼此的界面附近容易产生的缺陷。由此,提高了光电转换本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:浅尾英章鎌田塁笠井修一小栗诚司田中勇堀内伸起梅里计匡
申请(专利权)人:京瓷株式会社
类型:
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1