【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种MEMS麦克风的制造方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：（1）提供一线路板、控制电路芯片以及设有背腔的微机电芯片，将控制电路芯片与微机电芯片固定在所述线路板上；（2）提供一设有内壁的金属外壳，在外壳的内壁蒸镀绝缘层；（3）将蒸镀有绝缘层的外壳盖接在线路板上，使外壳与线路板形成收容腔，并且控制电路芯片与微机电芯片位于所述收容腔中。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈虎，王凯，
申请(专利权)人：瑞声声学科技深圳有限公司，瑞声声学科技常州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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