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本发明提供了一种MEMS麦克风的制造方法，该方法包括如下步骤：提供一线路板、控制电路芯片以及设有背腔的微机电芯片，将控制电路芯片与微机电芯片固定在所述线路板上；提供一设有内壁的金属外壳，在外壳的内壁蒸镀绝缘层；将蒸镀有绝缘层的外壳盖接在线路...该专利属于瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声声学科技(常州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声声学科技(常州)有限公司授权不得商用。