一种制备柔性超导薄膜的方法技术

本发明专利技术公开了一种制备柔性超导薄膜的方法，包括如下步骤：清洗基片，去除基片表面的有机污染物；在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜并进行固化；在涂覆聚酰亚胺膜的基片上直流溅射氮化铌超导薄膜；去除基片：将基片和聚酰亚胺膜剥离。本发明专利技术可以制备出厚度(微米量级)可控的柔性超导薄膜，扩大超导薄膜及器件的应用场合和范围。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ー种制备柔性超导薄膜的方法。
技术介绍
超导薄膜因其具有优越的电磁学特性，广泛应用于制备各种超导器件与电路，如超导约瑟夫森结，超导量子干渉器，超导热电子测辐热仪，超导单光子探測器，超导滤波器，超导量子电路，超导电磁隐身器件等。一般的超导薄膜均制备在刚性的基片上，因而无法弯曲，可容许的形变非常之小。不同超导材料经常需要制备在不同基片之上，限制了混合使用不同超导材料的工作场合。因为固定在特定基片上，其可移植性、及与硅エ艺兼容性上都有一定的限制。这些缺陷进一歩限制了基于超导薄膜的相关器件的应用场合。
技术实现思路
专利技术目的针对上述现有技术存在的问题和不足，本专利技术的目的是提供，可以制备出厚度(微米量级)可控的柔性超导薄膜，并且聚酰亚胺层方便进行进ー步微加工操作(如通过刻蚀等エ艺制备谐振腔)，可以制备更复杂的超导器件，扩大超导薄膜及器件的应用场合和范围。技术方案为实现上述专利技术目的，本专利技术采用的技术方案为ー种制备柔性超导薄膜的方法，包括如下步骤(I)清洗基片，去除基片表面的有机污染物；(2)在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜并进行固化；(3)在涂覆聚酰亚胺膜的基片上溅射氮化本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制备柔性超导薄膜的方法，包括如下步骤：(1)清洗基片，去除基片表面的有机污染物；(2)在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜并进行固化；(3)在涂覆聚酰亚胺膜的基片上溅射氮化铌超导薄膜；(4)去除基片：将基片和聚酰亚胺膜剥离。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：贾小氢，梁兰菊，金飚兵，康琳，吴培亨，
申请(专利权)人：南京大学，
类型：发明
国别省市：